Silikon nitrida (Si₃N₄) adalah bahan keramik struktural dengan konduktivitas termal intrinsik sekitar 320 W/(m·K), yang memiliki konduktivitas termal tinggi dan sifat mekanik yang luar biasa. Berkat stabilitasnya yang unggul pada suhu sekitar, Si₃N₄ telah menjadi bahan kemasan substrat keramik yang ......
Baca selengkapnyaDalam fabrikasi perangkat semikonduktor kelas atas, film SiO₂ biasanya dibentuk melalui proses oksidasi untuk perlakuan permukaan substrat, dan aplikasi umumnya mencakup lapisan penghalang dopan, lapisan insulasi permukaan, lapisan oksida gerbang, oksida lapangan, dan oksida pengorbanan. Sebagai pro......
Baca selengkapnyaDengan kemajuan teknologi, produk pintar seperti ponsel, komputer, kendaraan listrik, dan robot telah terintegrasi ke dalam kehidupan masyarakat. Produk-produk ini mengandung chip semikonduktor dalam jumlah besar, dan fabrikasi chip memerlukan peralatan semikonduktor, seperti mesin etsa, mesin litog......
Baca selengkapnyaWafer silikon resistivitas tinggi (HR-Si), seperti namanya, adalah bahan silikon monokristalin dengan resistivitas sangat tinggi. Di bidang manufaktur semikonduktor tingkat lanjut, kehilangan frekuensi tinggi telah menjadi tantangan besar dalam desain chip kelas atas. Berkat resistivitasnya yang san......
Baca selengkapnyaCincin fokus, juga disebut sebagai cincin kompensasi atau cincin kurungan, merupakan komponen yang sangat diperlukan dalam peralatan etsa, terutama peralatan etsa kering plasma. Proses etsa presisi skala nano dalam manufaktur semikonduktor modern tidak akan dapat dicapai tanpanya. Penggunaan cincin ......
Baca selengkapnyaDengan mengatur profil pemanasan dan pendinginan secara tepat, proses anil dapat mengaktifkan atom dopan, memperbaiki kerusakan kisi, mengurangi tekanan internal, dan meningkatkan keandalan listrik wafer. Peningkatan kinerja penting ini meletakkan dasar yang kuat untuk pemrosesan wafer berikutnya, y......
Baca selengkapnya