Etsa kering merupakan teknologi utama dalam proses pembuatan sistem mikro-elektro-mekanis. Kinerja proses etsa kering memberikan pengaruh langsung terhadap presisi struktural dan kinerja operasional perangkat semikonduktor. Untuk mengontrol proses etsa secara tepat, perhatian harus diberikan pada pa......
Baca selengkapnyaPengetsaan kering biasanya merupakan proses yang menggabungkan tindakan fisik dan kimia, dengan pemboman ion menjadi teknik pengetsaan fisik yang penting. Selama pengetsaan, sudut datang dan distribusi energi ion mungkin tidak merata.
Baca selengkapnyaSlideway aerostatik silikon karbida adalah sistem jalur pemandu canggih yang menggabungkan sifat material silikon karbida dan teknologi aerostatik. Berfungsi sebagai solusi optimal untuk sistem gerak presisi tinggi, keandalan tinggi, dan jangka panjang, slideway aerostatik silikon karbida banyak dig......
Baca selengkapnyaMetode utama untuk menyiapkan kristal tunggal silikon karbida adalah metode pengangkutan uap fisik (PVT). Metode ini terutama terdiri dari rongga tabung kuarsa, elemen pemanas (koil induksi atau pemanas grafit), bahan insulasi karbon grafit, wadah grafit, kristal biji silikon karbida, bubuk silikon ......
Baca selengkapnyaSOI, kependekan dari Silicon-On-Insulator, adalah proses pembuatan semikonduktor berdasarkan bahan substrat khusus. Sejak industrialisasinya pada tahun 1980an, teknologi ini telah menjadi cabang penting dalam proses manufaktur semikonduktor tingkat lanjut. Dibedakan dengan struktur komposit tiga la......
Baca selengkapnyaChuck elektrostatis melakukan berbagai fungsi seperti pelepasan elektrostatis yang seragam, konduksi panas, serta adsorpsi dan fiksasi wafer di bidang manufaktur semikonduktor. Salah satu fungsi inti ESC adalah untuk mengadsorpsi wafer secara stabil dalam kondisi pengoperasian ekstrem seperti vakum ......
Baca selengkapnya