Cakram Keramik PBN oleh Semicorex disintesis melalui proses deposisi uap kimia (CVD) yang rumit, memanfaatkan boron triklorida (BCl3) dan amonia (NH3) pada suhu tinggi dan tekanan rendah. Metode sintesis ini menghasilkan material dengan kemurnian dan integritas struktural yang luar biasa, sehingga sangat diperlukan untuk berbagai aplikasi dalam industri semikonduktor.**
Salah satu keuntungan paling signifikan dari Cakram Keramik PBN adalah kemurniannya yang sangat tinggi. Kemurnian bahan gas yang digunakan dalam proses sintesis (BCl3 + NH3 -> BN + HCl) jauh melebihi bubuk boron nitrida konvensional. Hasilnya, Cakram Keramik PBN mencapai tingkat kemurnian 99,99%, dengan total pengotor kurang dari 100 bagian per juta (ppm). Kemurnian luar biasa ini sangat penting dalam pembuatan semikonduktor, karena kontaminasi sekecil apa pun dapat menyebabkan kerusakan pada komponen elektronik. Dengan memastikan kemurnian tinggi, Cakram Keramik PBN meminimalkan risiko kontaminasi, sehingga meningkatkan keandalan dan kinerja perangkat semikonduktor.
Proses CVD yang digunakan dalam produksi Cakram Keramik PBN memberikan struktur berlapis yang hampir sempurna. Struktur unik ini memfasilitasi konduktivitas termal anisotropik, suatu sifat yang sangat bermanfaat untuk komponen yang digunakan dalam sistem tungku dan vakum. Konduktivitas termal anisotropik memungkinkan Cakram Keramik PBN mengatur distribusi panas secara efektif, memastikan kontrol suhu yang seragam di seluruh permukaan cakram. Kemampuan ini sangat penting dalam proses manufaktur semikonduktor yang memerlukan manajemen termal yang tepat untuk mencegah gradien termal yang dapat menyebabkan kegagalan atau inefisiensi komponen.
Dalam hal ketahanan termal, Cakram Keramik PBN menonjol sebagai bahan yang patut dicontoh. Ia dapat menahan suhu hingga 1800°C dalam lingkungan vakum dan 2000°C dalam nitrogen, tanpa menunjukkan titik leleh. Stabilitas termal yang luar biasa ini menjadikannya pilihan ideal untuk komponen tungku dan bejana peleburan, di mana suhu ekstrem merupakan bagian rutin pengoperasiannya. Kemampuan untuk menjaga integritas struktural pada suhu tinggi menjamin umur panjang dan keandalan, mengurangi kebutuhan akan penggantian yang sering dan dengan demikian menurunkan biaya operasional secara keseluruhan.
Kelambanan kimia adalah ciri lain dari Cakram Keramik PBN. Ia tahan terhadap reaksi dengan berbagai macam zat, termasuk asam, basa, pelarut organik, logam cair, dan grafit. Kelambanan ini sangat menguntungkan dalam manufaktur semikonduktor, dimana paparan terhadap zat reaktif sering terjadi. Dengan tetap non-reaktif, Cakram Keramik PBN menghindari interaksi kimia yang tidak diinginkan yang dapat membahayakan integritas dan fungsi komponen semikonduktor.
Penerapan Cakram Keramik PBN dalam industri semikonduktor beragam dan berdampak. Sifatnya menjadikannya bahan yang ideal untuk digunakan di berbagai lingkungan bersuhu tinggi dan kemurnian tinggi. Dalam proses pertumbuhan epitaksi, misalnya, cakram berfungsi sebagai komponen penting dalam sistem pengendapan, dimana kemurnian dan konduktivitas termalnya menjamin produksi lapisan semikonduktor berkualitas tinggi. Selain itu, dalam pembuatan LED dan perangkat optoelektronik lainnya, PBN Ceramic Disc menyediakan platform yang stabil dan andal yang mendukung proses rumit yang diperlukan untuk mencapai kinerja perangkat optimal.
Selain itu, peran Cakram Keramik PBN juga mencakup pembuatan perangkat elektronika daya. Perangkat ini sering kali beroperasi pada suhu tinggi dan memerlukan bahan yang dapat mempertahankan kinerjanya dalam kondisi tersebut. Sifat termal dan kimia yang sangat baik dari Cakram Keramik PBN menjadikannya pilihan yang cocok untuk substrat dan komponen lain dalam sistem elektronik daya, sehingga berkontribusi terhadap efisiensi dan daya tahan perangkat ini.
Struktur Boron Nitrida