Pemanas komposit PBN

Pemanas komposit semikorex PBN menggabungkan konduktivitas termal yang sangat baik dari grafit pirolitik dengan inertness kimia dan isolasi listrik boron nitrida pirolitik. Pemanas ini dibangun dari grafit kemurnian yang sangat tinggi dan PBN yang diterapkan menggunakan proses CVD (deposisi uap kimia uap) yang berkualitas tinggi di bawah kondisi pengendapan kemurnian tinggi. Setiap lapisan prestasi individu telah disimpan dengan kemampuan terkontrol yang sangat ekstrem untuk memastikan kemurnian yang sangat tinggi dan sifat termal yang konsisten. Inti grafit, yang memberikan pemanasan cepat dan seragam, dilindungi dari oksidasi dan kontaminasi oleh kapsul PBN; Ini membuat pemanas ideal untuk lingkungan gas vakum dan lingkungan gas inert. Pemanas PBN ini secara sengaja dirancang untuk digunakan dalam reaktor MBE (molekul balok), reaktor CVD, dan sistem pertumbuhan kristal lainnya.

Pemanas komposit nitrida-pirolitik pirolitik (PBN-PG) adalah pemanas yang menggunakan PBN insulasi tinggi sebagai substrat dan menggunakan dekomposisi termal bertekanan rendah uap kimia uap (CVD) pada tekanan rendah (di bawah 10TorR) dan suhu tinggi untuk melingkarkan PG konduktif. Komponen utama dari pemanas komposit ini adalah pirolitik boron nitrida (PBN) dan grafit pirolitik (PG). Karena ketahanan korosi yang sangat baik dan resistensi suhu tinggi, ini terutama digunakan untuk pemanasan substrat semikonduktor (digunakan dalam MBE, MOCVD, lapisan sputtering, dll.); pemanasan substrat superkonduktor; Pemanasan sampel selama analisis sampel; pemanasan sampel mikroskop elektron; pemanas logam; Sumber pemanas penguapan logam, dll.

Pemanasan PBN dapat menahan suhu operasi hingga 1.600 ° C dalam ruang hampa dan memiliki kemampuan yang lebih baik untuk menahan guncangan termal atas alternatif berbasis logam apa pun yang akan Anda andalkan. Permukaan pemanas sangat halus dan padat dan menghasilkan partikel yang jauh lebih sedikit selama operasi yang sangat penting untuk aplikasi di mana kontaminasi tidak dapat ditoleransi seperti pemrosesan wafer semikonduktor.

Struktur komposit memberikan keseragaman termal yang sangat baik di seluruh permukaan pemanas, dan jalur resistifnya dapat disesuaikan untuk memungkinkan distribusi panas yang disesuaikan. Desain ini memungkinkan siklus ramp-up dan cooldown yang cepat selama pemrosesan tanpa retak dan delaminasi karena koefisien ekspansi termal yang sama dari bahan yang digunakan. Elektroda mampu menahan operasi arus tinggi kontinu dan juga kompatibel dalam ruang hampa.

Semicorex memberikan fleksibilitas desain yang tidak terbatas untuk bentuk, ukuran, dan persyaratan daya yang unik bila perlu, untuk memenuhi kebutuhan aplikasi tertentu; Apakah itu untuk ukuran wafer standar, atau geometri yang lebih kompleks, kami menjamin akurasi dimensi dan keseragaman termal di setiap unit yang diproduksi.

Pemanas komposit PBN sangat cocok untuk aplikasi ultra-bersih, termasuk:

• Sistem MBE untuk pemrosesan semikonduktor senyawa III-V dan II-VI
• Sistem pelapisan vakum untuk komponen optik
• Sistem pertumbuhan kristal untuk safir dan sic
• Pemrosesan termal dengan kemurnian tinggi untuk lingkungan laboratorium penelitian dan pengembangan.