PBN cawanbles

CBN PBN semikorex pirolitik nitrida PBN adalah komponen rekayasa presisi yang dirancang untuk memenuhi tuntutan ketat dari proses suhu tinggi dan ultra-murni dalam industri seperti manufaktur semikonduktor, pertumbuhan kristal, dan aplikasi vakum. Diproduksi melalui proses uap kimia (CVD), cawan lebur PBN menawarkan kemurnian yang unggul, stabilitas termal yang luar biasa, dan inertness kimia yang luar biasa, menjadikannya bahan pilihan dalam rekayasa bahan canggih.

Karena boron nitrida memiliki koefisien ekspansi termal yang sebanding dengan kuarsa, tetapi konduktivitas termal 10 kali lipat dari yang terakhir, ia memiliki ketahanan guncangan termal yang sangat baik, yang dapat mengurangi risiko retak karena perubahan suhu yang cepat, dan dapat bersepeda beberapa kali pada 20 ~ 1200 ℃ tanpa masalah. Selain itu, boron nitrida tidak bereaksi dengan asam, alkali, kaca dan sebagian besar logam, dan memiliki kekuatan mekanik yang rendah, hanya sedikit lebih tinggi dari grafit, tetapi tidak melunak di bawah beban pada suhu tinggi, dan dapat diproses oleh mesin pemrosesan logam umum. Oleh karena itu, memang cocok untuk digunakan sebagai wadah, kapal, pipa pengiriman logam cair dan cetakan untuk pengecoran baja untuk meleleh dan menguap logam.

Biasanya dibuat oleh deposisi uap kimia menggunakan gas yang mengandung boron (BCL3 atau B2H6) sebagai bahan baku, tetapi karena B2H6 sangat beracun, BCL3 saat ini digunakan sebagai bahan baku. Gas yang mengandung boron mengalami pirolisis (1500 ~ 1800 ℃) dan bereaksi dengan NH3 di ruang reaksi suhu tinggi untuk membentuk boron nitrida padat. Karena pirolisis terjadi selama reaksi, itu juga disebutBoron nitrida pirolitikCrucible (umumnya dikenal sebagai cawan PBN).

Proses pertumbuhan material mirip dengan "salju turun", yaitu, kepingan salju BN heksagonal yang ditanam dalam reaksi terus -menerus ditumpuk pada substrat grafit yang dipanaskan (cetakan inti). Seiring berjalannya waktu, lapisan akumulasi mengental, membentuk cangkang PBN. Demolding adalah komponen PBN murni yang independen, dan lapisan PBN dibiarkan di atasnya. Karena cawan lebur PBN tidak perlu melalui proses sintering penekanan panas tradisional dan tidak perlu menambahkan agen sintering apa pun, ia memiliki kemurnian yang sangat tinggi (lebih dari 99,99%), dan suhu operasi di bawah vakum setinggi 1800 derajat, dan suhu operasi di bawah atmosfer dapat mencapai hingga 2100 ° C (biasanya nitr Nitr). Sebagian besar digunakan dalam penguapan/epitaks balok molekul (MBE)/pertumbuhan kristal GaAs dan tujuan lainnya.