Pemanas PBN

Pemanas PBN boron nitrida semikorex pirolitik adalah komponen pemanasan berkinerja tinggi, berkinerja tinggi yang dirancang untuk aplikasi yang menuntut di mana bahan yang sangat bersih, stabil secara kimia, dan efisien sangat penting. Diproduksi melalui proses uap kimia (CVD), PBN menunjukkan konduktivitas termal yang luar biasa, resistensi suhu tinggi, dan inertness kimia yang luar biasa, menjadikannya pilihan ideal untuk pemrosesan semikonduktor, pertumbuhan kristal, dan aplikasi vakum.

Peman PHN adalah pemanas yang menggunakan PBN yang sangat isolasi sebagai substrat dan menggunakan deposisi uap kimia dekomposisi termal bertekanan rendah (CVD) untuk melapisi PG konduktif pada tekanan rendah (di bawah 10Torr) dan suhu tinggi. Komponen utama dari pemanas komposit ini adalah pirolitik boron nitrida (PBN) dan grafit pirolitik (PG). Karena ketahanan korosi yang sangat baik dan resistensi suhu tinggi, ini terutama digunakan untuk pemanasan substrat semikonduktor (digunakan dalam MBE, MOCVD, lapisan sputtering, dll.); pemanasan substrat superkonduktor; Pemanasan sampel selama analisis sampel; pemanasan sampel mikroskop elektron; pemanas logam; Sumber pemanas penguapan logam, dll.

PBN lembam untuk gas korosif; memiliki kemurnian tinggi (lebih besar dari 99,99%); tidak basah atau bereaksi dengan sebagian besar logam cair (ia memiliki karakteristik panci non-stick, dan logam dapat digunakan 100%); memiliki ketahanan suhu tinggi yang baik (suhu operasi maksimum adalah 2000 ℃); kepadatan yang baik; Resistensi goncangan termal yang baik dan sifat-sifat luar biasa lainnya menjadikannya bahan yang ideal untuk menyiapkan pemanas komposit PBN-PG. PG dapat dipanaskan dengan cepat hingga 1600 ℃ (dalam suasana lembam dan di bawah ruang hampa) dalam pemanas PBN. Pada saat yang sama, dikombinasikan dengan konduktivitas termal PBN yang baik, permukaan pemanasan memiliki keseragaman panas yang baik. Dengan perkembangan cepat industri terkait, permintaan untuk pemanas komposit PBN-PG juga meningkat dengan cepat.

Pemanasan PBN dapat dibuat dalam berbagai bentuk dan konfigurasi untuk memenuhi persyaratan desain dan integrasi tertentu. Desain khas termasuk pemanas planar, pemanas tubular, dan geometri khusus dengan elemen pemanas tertanam atau terpasang di permukaan. Elemen pemanas biasanya terbuat dari pirolitik grafit (PG) dan dienkapsulasi dalam PBN, memberikan struktur yang sepenuhnya tertutup, isolasi elektrik, dan efisien secara termal.