Perahu Grafit Surya PECVD

SemicorexPerahu grafit surya PECVDdibuat secara presisi dengan kemurnian tinggigrafit isostatik. Setiap perahu grafit surya PECVD dari Semicorex menjalani pemesinan yang presisi, inspeksi dimensi, dan pengujian kinerja kelistrikan untuk memastikan kinerja yang stabil di lingkungan plasma bersuhu tinggi.

Selama pemrosesan PECVD, perahu grafit surya PECVD membawa wafer silikon ke dalam ruang reaksi PECVD dan berfungsi sebagai elektroda yang terhubung ke catu daya RF. Ketika tegangan bolak-balik diterapkan antara pelat perahu yang berdekatan, medan listrik terbentuk. Di bawah pengaruh medan listrik, gas reaktif (seperti silan SiH₄ dan amonia NH₃) mengalami pelepasan cahaya dan menghasilkan plasma. Ion dan radikal bebas dalam plasma menguraikan gas prekursor, membentuk ion silikon (Si) dan nitrogen (N). Ion-ion ini bergabung membentuk molekul silikon nitrida (Si₃N₄), yang kemudian diendapkan pada permukaan wafer silikon membentuk lapisan tipis.

1. Stabilitas termal yang luar biasa

Dengan koefisien ekspansi termal yang mendekati wafer silikon, SemicorxPerahu grafit surya PECVDmengalami perubahan dimensi yang dapat diabaikan saat pemanasan, yang secara andal menghindari kerusakan akibat tekanan termal pada wafer.

2. Konduktivitas listrik dan termal yang unggul

Perahu grafit surya Semicorex PECVD memiliki konduktivitas listrik yang sangat baik, memastikan konduksi arus RF yang cepat dan distribusi medan listrik yang seragam, yang bermanfaat untuk pembangkitan plasma yang stabil dan deposisi wafer silikon yang seragam. Selain itu, konduktivitas termalnya yang unggul memfasilitasi pendinginan dan pemanasan yang cepat, meningkatkan efisiensi produksi sekaligus mencegah panas berlebih yang mempengaruhi kualitas pengendapan.

3. Stabilitas kimia yang kuat

Berkat penggunaan material kelas premium, perahu grafit surya Semicorex PECVD tidak terlalu rentan terhadap reaksi dengan gas reaktif dan plasma. Karakteristik ini secara signifikan mencegah distribusi medan listrik yang tidak merata yang disebabkan oleh korosi, deformasi, atau pengendapan pengotor pada perahu grafit, sehingga menjamin stabilitas proses pengendapan dan kualitas permukaan wafer silikon.

4. Kekuatan mekanik yang luar biasa

Dengan kekuatan mekaniknya yang luar biasa, kapal grafit surya Semicorex PECVD dapat dengan mudah menangani beban muatan wafer bervolume tinggi. Mereka dapat menahan tekanan mekanis yang ditimbulkan selama pemuatan dan pengangkutan untuk waktu yang lama tanpa mudah berubah bentuk atau pecah.

5. Konsistensi dimensi yang sangat baik

Perahu grafit surya Semicorex PECVD mencapai akurasi dimensi yang luar biasa di semua komponen melalui pemesinan presisi. Ini menjaga wafer silikon pada posisi tetap selama pengendapan, yang memastikan deposisi seragam dan kompatibilitas dengan produksi otomatis.