Pembawa Wafer PFA

Semicorex PFAOperator Waferadalah pembawa berkinerja tinggi yang dirancang untuk penanganan yang aman, penyimpanan, dan transportasi wafer semikonduktor di lingkungan yang sangat bersih. Pembuatan semikonduktor canggih memastikan bahwa pembawa wafer PFA menawarkan ketahanan kimia yang tak tertandingi, stabilitas termal, dan kontrol partikel dari integritas dan kebersihan wafer selama pembuatan hingga pengujian akhir.

Terbuat dari PFA baru, pembawa wafer ini menunjukkan ketahanan besar terhadap bahan kimia yang keras seperti asam, basa, dan pelarut yang kuat yang biasanya digunakan dalam pembersihan dan wafer etsa. Properti pencucian dan outgassing ion PFA yang sangat rendah menjadikannya bahan yang disukai untuk tugas -tugas ruang bersih yang penting, di mana bahkan sejumlah kecil kontaminan dapat memengaruhi hasil perangkat.

Pembawa wafer PFA dibuat di kamar bersih dan bekerja dengan standar kamar bersih kelas 1 (ISO Kelas 3). Permukaan PFA yang halus dan non-stick meminimalkan generasi dan adhesi partikel, mencegah kontaminasi dari residu atau partikulat. Selain itu, sifat hidrofobik PFA memfasilitasi pembilasan menyeluruh dan pengeringan cepat, lebih lanjut mengurangi risiko kontaminasi silang selama langkah pemrosesan basah.

Setiap pembawa wafer PFA dibuat tepat untuk memastikan aman dan bahkan mendukung wafer selama bergerak dan menjaga. Slot beralur membantu wafer dengan sedikit kontak, mengurangi stres dan memotong tepi wafer. Operator datang dalam berbagai bentuk agar sesuai dengan berbagai ukuran wafer yang mencakup 100 mm, 150 mm, 200 mm, dan diameter 300 mm. Atasan opsional dan cara penguncian yang ketat memberikan keamanan ekstra terhadap kejutan pada barang dagangan, getaran, dan paparan terhadap lingkungan.

Karena resistansi termal PFA yang sangat baik hingga 260 ° C, kompatibel dengan proses suhu tinggi seperti difusi, oksidasi, dan deposisi uap kimia CVD. Operator mempertahankan integritas strukturalnya di bawah siklus termal berulang dan karenanya cocok untuk lingkungan pemrosesan batch dan otomatis.

Operator wafer PFA memiliki aplikasi luas dalam pembersihan wafer, etsa basah, fotolitografi CMP, dan proses front-end dan ujung belakang lainnya dalam fabrikasi IC. Desain dan kemurnian mereka yang kuat membuatnya ideal untuk digunakan dalam fabs, laboratorium R&D, dan peralatan OEM yang membutuhkan protokol kontrol kontaminasi yang ketat.

DisesuaikanPembawa Wafer PFADapat dikembangkan untuk memenuhi persyaratan otomatisasi tertentu, termasuk penanganan robot, sistem lacak, dan transportasi vertikal/horizontal. Operator sepenuhnya kompatibel dengan peralatan penanganan wafer standar dan alat manufaktur semikonduktor.