Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier direkayasa untuk tahan terhadap kondisi terberat dari lingkungan pengendapan. Dengan ketahanan panas dan korosi yang tinggi, produk ini dirancang untuk memberikan performa optimal untuk pertumbuhan epitaxial. Pembawa berlapis SiC memiliki konduktivitas termal yang tinggi dan sifat distribusi panas yang sangat baik, memastikan kinerja yang andal untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan