Tabung Tungku Kuarsa

Tabung tungku kuarsa semicorex, perahu wafer, cawan lebur kuarsa untuk pertumbuhan kristal tunggal Silikon semuanya terbuat dari kemurnian tinggibahan kuarsaaku. Kuarsa banyak digunakan dalam industri semikonduktor, kuarsa dengan kemurnian tinggi adalah bahan habis pakai yang penting dalam fabrikasi wafer. Target pasar utama suku cadang kuarsa di bidang semikonduktor adalah proses difusi dan etsa dalam fabrikasi wafer, dapat dibagi menjadi dua kategori utama: suku cadang bersuhu tinggi dan suku cadang bersuhu rendah.

1. Bagian bersuhu tinggi adalah tabung tungku kuarsa, perahu wafer, dudukan perahu, dan lain-lain. Bagian tersebut perlu bersentuhan langsung atau tidak langsung dengan wafer Silikon di lingkungan bersuhu tinggi, terutama terbuat dari bahan kaca kuarsa yang menyatu, diproduksi melalui pemrosesan termal.

2. Bagian bersuhu rendah adalah cincin kuarsa dalam proses etsa, dan termasuk kaset, tangki pembersih dalam proses pembersihan. Mereka terutama digunakan di lingkungan bersuhu rendah, yang sebagian besar terbuat dari kaca kuarsa leburan, diproduksi melalui pemrosesan dingin.

Komponen di zona suhu tinggi dikonsumsi lebih cepat, namun biasanya digunakan dalam sistem multi-wafer (satu pembawa menampung beberapa wafer silikon), sedangkan komponen di zona suhu rendah dikonsumsi lebih lambat, namun digunakan dalam sistem wafer tunggal (satu pembawa menampung satu wafer silikon); oleh karena itu, ukuran pasar keseluruhan untuk keduanya relatif sama.

Tungku adalah area di mana wafer mengalami proses pemanasan suhu tinggi, terdiri dari tabung tungku kuarsa, reaktor dan beberapa pemanas, banyak diterapkan dalam proses difusi, oksidasi, RTP dalam pemrosesan semikonduktor. Tungku terutama dibagi menjadi tipe horizontal dan vertikal :. Dalam tungku horizontal, wafer ditempatkan pada perahu kuarsa, yang kemudian ditempatkan pada pembawa SiC. Ada juga penyekat adaptif di bagian depan dan belakang. Pembawa didorong ke dalam tabung tungku kuarsa, dan wafer mengalami reaksi dalam zona suhu konstan. Dalam tungku vertikal, wafer ditempatkan pada menara kuarsa dan kemudian perlahan-lahan diangkat ke dalam tabung tungku kuarsa untuk diproses.

Karena suhu tinggi yang terlibat dalam proses di atas, untuk mencegah deformasi parah dan keruntuhan tabung tungku kuarsa setelah penggunaan berulang dan berkepanjangan, tabung tungku kuarsa yang tahan terhadap deformasi dan keruntuhan serta memiliki masa pakai yang lama harus digunakan selama produksi.

Berikut kelebihannyakuarsatabung tungku:

1. Tahan suhu tinggi. Kaca kuarsa memiliki titik lunak sekitar 1730℃ dan dapat digunakan dalam waktu lama pada suhu 1150℃, dengan suhu maksimum jangka pendek mencapai 1450℃.

2. Ketahanan korosi. Kecuali asam fluorida, kuarsa dengan kemurnian tinggi hampir tidak bereaksi secara kimia dengan zat asam lainnya. Pada suhu tinggi dapat menahan korosi dari asam sulfat, asam nitrat, asam klorida, aqua regia, garam netral, karbon, dan belerang. Ketahanan asamnya 30 kali lipat dari keramik dan 150 kali lipat dari baja tahan karat.  Stabilitas kimianya, terutama pada suhu tinggi, tidak tertandingi oleh material rekayasa lainnya.

3. Stabilitas termal yang baik. Kuarsa dengan kemurnian tinggi memiliki koefisien muai panas yang sangat rendah dan dapat menahan perubahan suhu yang drastis.  Memanaskan kuarsa dengan kemurnian tinggi hingga sekitar 1100℃ dan kemudian merendamnya dalam air bersuhu ruangan tidak akan menyebabkannya pecah.

4. Performa transmisi cahaya yang baik. Kuarsa dengan kemurnian tinggi memiliki kinerja transmisi cahaya yang baik di seluruh spektrum dari ultraviolet hingga inframerah. Transmisi cahaya tampak di atas 93%, dan dalam spektrum ultraviolet, transmisi maksimum bisa mencapai lebih dari 80%.

5. Kinerja isolasi listrik yang baik. Resistivitas kuarsa dengan kemurnian tinggi sepuluh ribu kali lipat dari kaca kuarsa biasa, menjadikannya bahan isolasi listrik yang sangat baik, memiliki sifat listrik yang baik bahkan pada suhu tinggi.