Pelat satelit

Lempeng satelit Semicorex adalah pembawa wafer vital selama proses pertumbuhan epitaxial, menjamin deposisi yang seragam dan efisiensi proses yang optimal. Dibangun dari grafit dengan kemurnian tinggi dan dilapisi dengan lapisan silikon karbida yang kuat (SIC), pelat ini memberikan stabilitas termal yang luar biasa, ketahanan kimia, dan kekuatan mekanik, memperkuat posisinya sebagai komponen yang sangat diperlukan dalam pembuatan semikonduktor berkinerja tinggi.

Dengan basis grafit dengan kemurnian tinggi, pelat satelit unggul dalam konduktivitas termal dan integritas struktural. ItuLapisan sicsecara signifikan meningkatkan daya tahannya, memberikan resistensi suhu tinggi, inertness kimia, dan secara dramatis mengurangi generasi partikel. Kombinasi yang kuat ini memastikan bahwa pelat mengalami kondisi pemrosesan yang keras sambil secara konsisten berkinerja di tingkat tinggi. Basis grafit memfasilitasi perpindahan panas yang efisien, memastikan distribusi suhu yang seragam di seluruh wafer, sedangkan lapisan SIC melindungi terhadap gas proses korosif, mencegah kontaminasi dan memperpanjang masa pakai. Selain itu, permukaan SIC meminimalkan pelepasan partikel, yang sangat penting untuk mencapai fabrikasi semikonduktor hasil tinggi.

Dirancang khusus untuk integrasi tanpa batas dengan sistem Aixtron G5+, pelat satelit menjamin posisi wafer yang tepat dan keseimbangan rotasi, penting untuk menjaga kondisi termal yang stabil dan mengurangi laju cacat. Komposisi material canggih dari pelat tidak hanya memperpanjang masa pakainya tetapi juga secara signifikan menurunkan biaya operasional dan meningkatkan produktivitas manufaktur.

Terutama digunakan dalam proses uap uap bahan kimia organik logam (MOCVD), pelat satelit sangat penting untuk menumbuhkan lapisan epitaxial pada wafer semikonduktor. Ini memainkan peran kunci dalam produksi perangkat semikonduktor canggih, termasuk LED, SIC dan elektronik daya berbasis GAN, komponen fotonik dan optoelektronik, dan perangkat RF frekuensi tinggi. Dengan memastikan kondisi termal yang stabil dan meminimalkan kontaminasi, pelat satelit menjamin pertumbuhan lapisan epitaxial yang konsisten, yang mengarah pada peningkatan penanganan wafer dan tingkat hasil yang lebih tinggi. Desainnya yang dioptimalkan mengamankan dukungan wafer secara efisien, mengurangi cacat dan memastikan ketepatan di seluruh tahap pemrosesan semikonduktor.

Pelat satelit semikorex berfungsi sebagai komponen penting untuk reaktor epitaxy Aixtron G5+, memberikan daya tahan yang tak tertandingi, ketahanan kimia, dan kinerja termal. Komposisi dan rekayasa material mutakhir membuatnya penting untuk proses pembuatan semikonduktor, memastikan produksi wafer dengan hasil tinggi dan berkualitas tinggi. Investasikan dalam pelat satelit untuk meningkatkan fabrikasi semikonduktor Anda dan mencapai keunggulan dalam proses pertumbuhan epitaxial.