Pemanas grafit semikonduktor Semicorex adalah perangkat pemanas efisiensi tinggi yang terbuat dari grafit isostatik berkualitas tinggi. Ini banyak digunakan dalam tautan proses inti manufaktur semikonduktor, seperti bidang termal tungku pertumbuhan kristal, proses pertumbuhan epitaksial, peralatan implantasi ion, peralatan etsa plasma, dan produksi cetakan sintering perangkat semikonduktor.
Semikonduktorpemanas grafitadalah perangkat pemanas canggih yang terbuat dari bahan grafit isostatik dengan kemurnian tinggi. Konduktivitas listrik dan konduktivitas termalnya yang sangat baik memastikan kontrol suhu yang tepat dan distribusi panas yang seragam untuk pertumbuhan dan pemrosesan bahan semikonduktor. Ketika arus listrik melewati pemanas, ia mengatasi hambatan listrik internal grafit, mengubah energi listrik menjadi panas, meningkatkan suhu grafit dan mencapai pemanasan. Kontrol suhu yang tepat biasanya dapat dicapai dengan menyesuaikan intensitas arus listrik dan resistansi pemanas.
Kemurnian tinggi Semicorex yang dipilih dengan cermatgrafit isostatikmenunjukkan konduktivitas termal yang sangat baik, memungkinkannya mentransfer panas dengan cepat dan merata ke setiap sudut area pemanasan, secara efektif mencegah panas berlebih di lokasi tertentu.
Khususnya, bahkan ketika terkena kondisi suhu yang sangat tinggi, seperti ablasi busur suhu sangat tinggi, grafit isostatik dengan kemurnian tinggi mempertahankan karakteristik fisik dan kimia yang stabil. Panas yang hebat biasanya menyebabkan material meleleh, berubah bentuk, atau teroksidasi, namun jenis grafit ini mampu menahan perubahan tersebut. Hal ini membuatnya sangat cocok untuk proses suhu tinggi dalam produksi semikonduktor, termasuk penarikan silikon kristal tunggal dan pertumbuhan kristal silikon karbida.
Pemanas grafit semikonduktor ditandai dengan efisiensi energi. Tidak memerlukan pemanasan awal, mencapai suhu yang disetel dengan cepat, dan mencapai penghematan energi yang signifikan dibandingkan pemanas tradisional. Efisiensi konversi termal yang tinggi secara efektif mengurangi konsumsi energi, mewujudkan konservasi energi dan pengurangan konsumsi. Selama pengoperasian, tidak menghasilkan polutan atau gas buang, sehingga memenuhi persyaratan lingkungan.
Selain itu, pemanas grafit semikonduktor menawarkan masa pakai yang lama. Grafit isostatik dengan kemurnian tinggi memberi mereka kekuatan mekanik yang unggul, ketahanan korosi yang kuat, dan ketahanan guncangan termal yang sangat baik. Mereka kurang rentan terhadap faktor-faktor seperti suhu tinggi dan korosi kimia, sehingga memungkinkan masa pakai yang lebih lama.