Modul epitaxial sic

Modul Epitaxial Semicorex SIC, dibuat dari Grafit Premium, SIC Coated Graphite, adalah bagian dari peralatan epitaxial yang dikembangkan untuk menahan elemen paling sulit dari proses epitaxy silikon karbida (SIC). Modul ini, yang dimaksudkan untuk suhu tinggi dalam aplikasi uap kimia (CVD), merupakan komponen penting dalam menunjukkan stabilitas dan dukungan untuk wafer selama pertumbuhan epitaxial dari SiC berkualitas tinggi. Modul SIC Semicorex adalah bahan dasar yang efektif untuk produksi bahan epitaxial yang andal dan berulang yang konsisten dengan spesifikasi SIC yang berkualitas.

Modul SIC Semicorex adalah substrat grafit yang ditutupi dengan lapisan silikon karbida yang padat dan seragam dan tahan terhadap kontaminasi partikel dan korosi bahkan dalam kimia proses yang paling parah. Lapisan SIC melarang kontaminasi dan erosi grafit yang mendasarinya dan memberikan dukungan dan perlindungan mekanis yang substansial hingga 1600 ° C. Modul SIC menggabungkan kekuatan dan kemampuan mesin grafit dengan keseluruhan keausan, korosi dan sifat tahan kimia silikon karbida, menjadikannya yang paling cocok dari modul dalam hal daya tahan dalam atmosfer epitaxial yang keras.

Modul ini dirancang untuk memberikan profil termal yang seragam sambil meminimalkan perubahan dimensi di seluruh proses bersepeda termal. Keseragaman dan stabilitas termal ini sangat penting untuk menjaga kerataan wafer dan keseragaman epitaxy. Jika wafer mempertahankan posisi stabil dengan konduktivitas termal yang tinggi, maka kondisi termal di seluruh wafer selama pemrosesan akan seragam, yang berdampak positif pada hasil, kualitas kristal, dan waktu henti yang terkait dengan kegagalan bagian atau kontaminasi.

Modul epitaxial SIC kompatibel dengan beberapa reaktor epitaxial termasuk dinding panas dan dinding dingin dan memiliki opsi untuk disesuaikan untuk membentuk dan dimensi untuk mengakomodasi tata letak reaktor dan kebutuhan pelanggan tertentu. Modul Epitaxial SIC sangat cocok untuk, tetapi tidak terbatas pada aplikasi epitaxy SIC 8-inci, 6-inci, dan muncul 8-inci. Karena kemurnian tinggi dan geometri yang dioptimalkan dari modul epitaxial SIC, gangguan fisik diminimalkan dalam dampaknya pada dinamika aliran gas dan gradien termal yang mendukung pertumbuhan yang lebih terkontrol dari lapisan epitaxial.

Modul epitaxial SIC Semicorex mewakili karya terkontrol berkualitas tertinggi dalam perakitan eksentrik. Selain protokol kontrol berkualitas tinggi, Semicorex menggunakan metode pelapisan terbaru untuk menerapkan film SIC yang seragam, padat, dan outgassing rendah. Semicorex memiliki sejarah panjang pelapisan keramik berkinerja tinggi dan manfaat proses pengidentifikasian pemesinan grafit yang memberikan kehidupan produk terbaik, konsistensi, dan stabilitas proses dari batch ke batch.

Di bidang yang berkembang cepat dari perangkat daya SIC, di mana kualitas material secara langsung mempengaruhi kinerja perangkat, modul epitaxial bukan hanya konsumsi-ini adalah enabler yang kritis. Modul epitaxial grafit yang dilapisi SIC dari Semicorex menawarkan solusi yang kuat dan andal bagi pelanggan yang ingin mendorong batas efisiensi, hasil, dan efektivitas biaya dalam epitaxy SiC.