Reseptor Epitaksi SiC

Dibuat dengan presisi dan dirancang untuk keandalan, SiC Epitaxy Susceptor memiliki ketahanan korosi yang tinggi, konduktivitas termal yang tinggi, ketahanan terhadap guncangan termal, dan stabilitas kimia yang tinggi, memungkinkannya berfungsi secara efektif dalam atmosfer epitaksi. Oleh karena itu, SiC Epitaxy Susceptor dianggap sebagai inti dan komponen penting dalam peralatan MOCVD. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Susceptor Epitaxy SiC adalah komponen penting yang digunakan dalam peralatan MOCVD untuk mendukung dan memanaskan substrat kristal tunggal. Parameter kinerjanya yang unggul seperti stabilitas termal dan keseragaman termal memainkan peran yang menentukan dalam kualitas pertumbuhan material epitaksi, memastikan tingkat keseragaman dan kemurnian yang tinggi pada material film tipis.

Susceptor Epitaxy SiC memiliki kepadatan yang sangat baik, memberikan perlindungan efektif pada suhu tinggi dan lingkungan kerja yang korosif. Selain itu, tingkat kerataan permukaannya yang tinggi secara sempurna memenuhi persyaratan pertumbuhan kristal tunggal pada permukaan substrat.

Koefisien minimal perbedaan ekspansi termal pada SiC Epitaxy Susceptor secara signifikan meningkatkan kekuatan ikatan antara substrat epitaksi dan bahan pelapis, sehingga mengurangi kemungkinan retak setelah mengalami siklus termal suhu tinggi.

Pada saat yang sama, ia menunjukkan konduktivitas termal yang tinggi, memfasilitasi distribusi panas yang cepat dan seragam untuk pertumbuhan chip. Selain itu, titik lelehnya yang tinggi, ketahanan suhu, ketahanan oksidasi, dan ketahanan korosi memungkinkan pengoperasian yang stabil di lingkungan kerja bersuhu tinggi dan korosif.

Sebagai komponen penting dalam ruang reaksi peralatan MOCVD, SiC Epitaxy Susceptor harus memiliki keunggulan seperti ketahanan suhu tinggi, konduktivitas termal yang seragam, stabilitas kimia yang baik, dan ketahanan yang kuat terhadap guncangan termal. Semicorex SiC Epitaxy Susceptor memenuhi semua persyaratan ini.