Tutup sic

Tutup semikorex sic adalah bagian penting yang dirancang khusus untuk pemrosesan semikonduktor. Ini dirancang untuk lingkungan terberat dalam aplikasi epitaks, implan ion, dan aplikasi suhu tinggi. Ini diproduksi dari silikon karbida ultra-murni yang memiliki sifat material yang sangat stabil dan presisi yang direkayasa. Konsistensi jangka panjang, daya tahan, dan kebersihan adalah alasan utama untuk memilih tutup semikorex sic untuk digunakan dalam proses fabrikasi semikonduktor lanjut.

Silikon karbida (sic)memiliki berbagai sifat yang unik dibandingkan dengan keramik tradisional atau bahan logam. Salah satu keuntungan utama SIC adalah ketahanannya terhadap suhu tinggi. SIC dapat mempertahankan integritas strukturalnya dan stabilitas mekanis - untuk periode waktu yang lama bahkan pada suhu tinggi. Ini membuat SIC ideal untuk proses seperti epitaks uap kimia (CVD) atau implantasi ion energi tinggi. Logam dan plastik akan merusak, mengoksidasi, atau mencemari suhu ekstrem, sementara SIC akan mempertahankan stabilitas dimensi dan tidak akan berinteraksi secara positif dengan wafer yang diproses.

Resistensi kimia adalah fitur pembeda lain dari tutup SiC. Dalam pemrosesan semikonduktor lingkungan yang mungkin Anda temui dengan gas korosif, plasma, atau bahan kimia reaktif tidak jarang. Dalam skenario tersebut, permukaan SIC akan memberikan penghalang inert untuk menahan kontaminan tersebut dari merendahkan permukaan dari waktu ke waktu yang menghasilkan kehidupan yang lebih efektif. Umur panjang ini sama dengan pengurangan biaya perawatan, mengurangi waktu turun peralatan, dan pengulangan di seluruh siklus proses yang diperpanjang. Faktor -faktor ini membuat tutup SiC menjadi pilihan yang lebih baik untuk FAB yang membutuhkan produksi hasil tinggi yang berkelanjutan dibandingkan dengan bahan tradisional.

Sama seperti resistensi kimia, kemurnian juga sangat penting dalam aplikasi semikonduktor. Kehadiran kontaminan jejak dapat memiliki dampak negatif pada kinerja dan hasil perangkat. Tutup SiC terbuat dari bahan silikon karbida kemurnian tinggi yang tidak termasuk kemungkinan kotoran logam yang mengalir ke lingkungan proses. Selain itu, dijamin sebersih mungkin dan stabil seperti berkaitan dengan kontaminan dan kekuatan luar yang berdampak pada kinerja tutup, yang sangat penting dalam memenuhi persyaratan manufaktur semikonduktor saat ini, di mana objek tingkat nanometer harus didefinisikan dengan presisi tanpa dimensi dan kontrol kontaminan. Fleksibilitas yang ditawarkan tutup SIC adalah nilai tambahan. Setiap komponen dapat dirancang untuk kebutuhan pelanggan tertentu sehubungan dengan ukuran, geometri, dan akhir permukaan. Ini memastikan bahwa tutupnya dapat dengan mudah dimasukkan ke dalam dan diintegrasikan dengan model peralatan yang berbeda dan alat proses.

Ketepatan pemesinanSicKelopak lebih lanjut meningkatkan nilai tutup SIC. Alat semikonduktor membutuhkan ketepatan mekanik tertinggi karena fluktuasi besar dalam kompatibilitas dimensi dan keseragaman permukaan, bahkan varian kecil dalam keseragaman dan ketebalan material dapat sangat membahayakan konsistensi proses alat, throughput dan kualitas produk. Melalui teknologi canggih dalam pemrosesan bahan, tutup SiC memiliki kerataan, keseragaman permukaan dan toleransi yang melebihi standar industri konvensional, menawarkan ketebalan permukaan penyegelan mekanis, biasanya, ribuan/ribuan inci (TIR). Kerataan tinggi memungkinkan penyegelan kecocokan mekanis serta jaminan untuk batas tingkat laboratorium untuk mengalami kondisi dalam proses produksi dapat direplikasi. Ini sangat jelas dalam fab volume tinggi di mana penekanan pada pengulangan kondisi sangat penting untuk kinerja perangkat semikonduktor. Saat Anda mengejar rekayasa presisi, ia berbicara langsung dengan optimasi hasil. Ketika tutup SIC digunakan secara praktis, misalnya, dalam epitaxy di mana tutup SIC duduk secara termal dan kimia untuk mendapatkan reaktor, atau dalam sistem implantasi ion untuk menahan partikel -partikel energik yang dikeluarkan dari poords power in -condentasi yang melekat pada kawan -kawan yang menonjol pada tutup yang dikenakan pada kandang mekanis dan properti yang mempertahankan kinerja. Tutup SiC ditakdirkan untuk identik dalam produksi semikonduktor solid-state.

Tutup semikorex sic mewakili yang terbaik dari ilmu material dan rekayasa material, dan menawarkan kinerja terbaik yang mungkin dalam lingkungan semikonduktor, di antara toleransi suhu tinggi, ketahanan kimia, kemurnian ideal, fabrikasi khusus, pekerjaan pemesinan yang tepat, tutup SiC akan dilakukan.