Cina Substrat SiC Produsen, Pemasok, Pabrik

Sepotong tipis bahan semikonduktor disebut wafer, yang terbuat dari bahan kristal tunggal yang sangat murni. Dalam proses Czochralski, ingot silinder dari semikonduktor monokristalin yang sangat murni dibuat dengan menarik kristal benih dari lelehan.

Silicon Carbide (SiC) dan politipenya telah menjadi bagian dari peradaban manusia sejak lama; kepentingan teknis dari senyawa keras dan stabil ini telah direalisasikan pada tahun 1885 dan 1892 oleh Cowless dan Acheson untuk tujuan penggilingan dan pemotongan, yang mengarah pada pembuatannya dalam skala besar.

Sifat fisik dan kimia yang sangat baik menjadikan silikon karbida (SiC) kandidat utama untuk berbagai aplikasi, termasuk perangkat suhu tinggi, daya tinggi, dan frekuensi tinggi serta optoelektronik, komponen struktural dalam reaktor fusi, bahan pelapis untuk pendingin gas. reaktor fisi, dan matriks inert untuk transmutasi Pu. Berbagai jenis poli SiC seperti 3C, 6H, dan 4H telah digunakan secara luas. Implantasi ion adalah teknik penting untuk memperkenalkan dopan secara selektif untuk produksi perangkat berbasis Si, untuk membuat wafer SiC tipe-p dan tipe-n.

batangan itukemudian diiris untuk membentuk wafer silikon karbida SiC.

Sifat Bahan Silikon Karbida

Berbagai jenis wafer SiC

Ada tiga jenis:wafer sic tipe-n, wafer sic tipe-pDanwafer sic semi-isolasi dengan kemurnian tinggi. Doping mengacu pada implantasi ion yang memasukkan pengotor ke kristal silikon. Dopan ini memungkinkan atom kristal membentuk ikatan ionik, menjadikan kristal yang tadinya intrinsik menjadi ekstrinsik. Proses ini menimbulkan dua jenis pengotor; Tipe-N dan tipe-P. 'Jenisnya' bergantung pada bahan yang digunakan untuk membuat reaksi kimia. Perbedaan antara wafer SiC tipe N dan tipe P adalah bahan utama yang digunakan untuk membuat reaksi kimia selama doping. Tergantung pada bahan yang digunakan, orbital terluar akan memiliki lima atau tiga elektron sehingga satu elektron bermuatan negatif (tipe N) dan satu elektron bermuatan positif (tipe P).

Wafer SiC tipe-N terutama digunakan pada kendaraan energi baru, transmisi dan gardu induk tegangan tinggi, barang putih, kereta api berkecepatan tinggi, motor, inverter fotovoltaik, catu daya pulsa, dll. Wafer ini memiliki keunggulan dalam mengurangi kehilangan energi peralatan, meningkatkan keandalan peralatan, mengurangi ukuran peralatan dan meningkatkan kinerja peralatan, dan memiliki keunggulan yang tak tergantikan dalam pembuatan perangkat elektronika daya.

Wafer SiC semi-isolasi dengan kemurnian tinggi terutama digunakan sebagai substrat perangkat RF berdaya tinggi.

Epitaksi - Deposisi Nitrida III-V

Lapisan epitaksi SiC, GaN, AlxGa1-xN dan InyGa1-yN pada substrat SiC atau substrat safir.