Keramik silikon karbida (SiC) adalah bahan keramik canggih yang mengandung silikon dan karbon. Butiran silikon karbida dapat diikat bersama melalui sintering untuk membentuk keramik yang sangat keras. Semicorex memasok keramik silikon karbida khusus sesuai kebutuhan Anda.
Aplikasi
Dengan keramik silikon karbida, sifat material tetap konstan hingga suhu di atas 1.400°C. Modulus Young yang tinggi > 400 GPa memastikan stabilitas dimensi yang sangat baik.
Aplikasi umum untuk komponen silikon karbida adalah teknologi penyegelan dinamis menggunakan bantalan gesekan dan segel mekanis, misalnya pada pompa dan sistem penggerak.
Dengan sifat canggihnya, keramik silikon karbida juga ideal untuk digunakan dalam industri semikonduktor.
Perahu Wafer →
Semicorex Wafer Boat terbuat dari keramik silikon karbida sinter, yang memiliki ketahanan yang baik terhadap korosi dan ketahanan yang sangat baik terhadap suhu tinggi dan guncangan termal. Keramik canggih memberikan ketahanan termal dan daya tahan plasma yang sangat baik sekaligus memitigasi partikel dan kontaminan untuk pembawa wafer berkapasitas tinggi.
Reaksi sinter silikon karbida
Dibandingkan dengan proses sintering lainnya, perubahan ukuran reaksi sintering selama proses densifikasi kecil, dan produk dengan dimensi yang presisi dapat dihasilkan. Namun, keberadaan SiC dalam jumlah besar dalam badan sinter membuat kinerja reaksi keramik SiC yang disinter pada suhu tinggi menjadi lebih buruk.
Silikon karbida sinter tanpa tekanan
Silikon karbida sinter tanpa tekanan (SSiC) adalah keramik berperforma tinggi yang sangat ringan namun keras. SSiC dicirikan oleh kekuatan tinggi, yang hampir konstan bahkan pada suhu ekstrim.
Silikon karbida kristal ulang
Silikon karbida rekristalisasi (RSiC) adalah bahan generasi berikutnya yang dibentuk dengan mencampurkan bubuk kasar silikon karbida dengan kemurnian tinggi dan bubuk halus silikon karbida aktivitas tinggi, dan setelah grouting, sintering vakum pada 2450 ° C untuk mengkristal ulang.
Semicorex silikon karbida vakum chuck adalah solusi penanganan wafer berkinerja tinggi yang dibuat dari silikon karbida berpori. Ini secara khusus direkayasa untuk adsorpsi vakum wafer semikonduktor selama proses kritis seperti pemasangan (waxing), penipisan, de-waxing, pembersihan, dicing, dan anil termal cepat (RTA). Pilih Semicorex untuk kemurnian material yang tidak tertandingi, presisi dimensi, dan kinerja yang andal dalam lingkungan semikonduktor yang menuntut.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Porous Sic Chuck adalah chuck keramik berkinerja tinggi yang dirancang untuk adsorpsi wafer yang aman dan seragam dalam pemrosesan semikonduktor. Struktur mikro-berpori yang direkayasa memastikan distribusi vakum yang sangat baik, menjadikannya ideal untuk aplikasi presisi.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex sic vakum chucks adalah perlengkapan keramik berkinerja tinggi yang dirancang untuk adsorpsi wafer aman dalam manufaktur semikonduktor. Dengan sifat termal, mekanik, dan kimia yang unggul, ia memastikan stabilitas dan presisi dalam lingkungan proses yang menuntut.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanDayung cantilever semikorex sic adalah dayung cantilever silikon karbida berkinerja tinggi yang digunakan dalam peralatan pemrosesan termal semikonduktor, yang dirancang untuk penanganan wafer yang stabil di lingkungan suhu tinggi. Memilih Semicorex berarti memilih bahan-bahan dengan kemurnian tinggi, stabilitas termal yang sangat baik dan teknologi manufaktur presisi terkemuka di industri untuk memastikan bahwa setiap proses kritis Anda stabil dan andal.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPemegang kapal semikorex sic adalah komponen struktural penting yang memastikan posisi wafer yang tepat dan andal dalam pemrosesan termal semikonduktor. Pilih Semicorex untuk kualitas yang tak tertandingi, keahlian teknis, dan komitmen untuk memajukan solusi SIC dengan kemurnian tinggi dalam manufaktur semikonduktor.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanKapal wafer semikorex adalah pembawa keramik yang direkayasa dengan presisi yang dirancang untuk pemrosesan wafer suhu tinggi dalam manufaktur semikonduktor. Pilih Semicorex untuk kemurnian material yang tak tertandingi, teknologi fabrikasi canggih, dan komitmen terhadap kualitas yang memastikan kinerja yang konsisten di lingkungan ruang bersih yang paling menuntut.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan