Alas Silikon

Semicorex Silicon Pedestal, komponen yang sering diabaikan namun sangat penting, memainkan peran penting dalam mencapai hasil yang tepat dan berulang dalam proses difusi dan oksidasi semikonduktor. Platform khusus ini, di mana perahu silikon diletakkan di dalam tungku bersuhu tinggi, menawarkan keunggulan unik yang secara langsung berkontribusi pada peningkatan keseragaman suhu, peningkatan kualitas wafer, dan pada akhirnya, kinerja perangkat semikonduktor yang unggul.**

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

1. Alas Silikon Semicorex Menstabilkan Lingkungan Pemrosesan untuk Hasil Optimal:

Menciptakan Fondasi yang Stabil untuk Kapal Kristal: Silicon Pedestal menyediakan platform yang kuat dan stabil secara termal untuk perahu silikon di dalam ruang tungku bersuhu tinggi. Stabilitas ini memastikan perahu mempertahankan posisi dan orientasinya selama proses berlangsung, mencegah pergerakan atau kemiringan yang tidak diinginkan yang dapat mengganggu dinamika aliran gas dan mengganggu keseragaman suhu.

Meningkatkan Keseragaman Suhu dalam Ruang Reaksi:Dengan mengisolasi perahu silikon secara efektif dari lantai dan dinding tungku, Alas Silikon meminimalkan kehilangan panas melalui konduksi dan mendorong distribusi suhu yang lebih seragam dalam tabung reaksi termal. Peningkatan kemampuan manajemen termal ini sangat penting untuk mencapai profil difusi atau oksidasi yang konsisten dan berulang di seluruh permukaan wafer.

Meningkatkan Efisiensi Isolasi untuk Penggunaan Energi yang Optimal:Sifat isolasi termal yang melekat pada Silicon Pedestal berkontribusi pada proses yang lebih hemat energi dengan meminimalkan kehilangan panas ke lingkungan sekitar. Hal ini berarti siklus pemanasan dan pendinginan menjadi lebih cepat, mengurangi konsumsi energi, dan pada akhirnya, menurunkan biaya pemrosesan secara keseluruhan.

2. Sinergi Bahan untuk Kualitas Wafer Unggul:

Mencocokkan Ekspansi Termal untuk Mengurangi Stres Wafer:Alas Silikon, dibuat dari bahan silikon dengan kemurnian tinggi yang sama seperti perahu dan wafer itu sendiri, menawarkan keunggulan penting dibandingkan bahan alternatif seperti kuarsa atau silikon karbida. Sinergi material ini memastikan bahwa alas, perahu, dan wafer mengembang dan menyusut pada tingkat yang hampir sama selama siklus pemanasan dan pendinginan, meminimalkan risiko tekanan termal, wafer membungkuk, dan cacat kristalografi yang dapat berdampak negatif pada hasil dan kinerja perangkat.

Meminimalkan Kontaminasi dan Ketidaksesuaian Kisi:Penggunaan silikon dengan kemurnian tinggi untuk Silicon Pedestal dan perahu menghilangkan potensi kontaminasi dari bahan yang berbeda, memastikan lingkungan pemrosesan yang murni untuk wafer. Kompatibilitas material ini juga meminimalkan risiko ketidaksesuaian kisi pada antarmuka wafer-boat, yang selanjutnya berkontribusi terhadap peningkatan kualitas kristal dan pengurangan kepadatan cacat.