Pelat Penerima

Pelat Susceptor Semicorex adalah komponen penting dalam proses pertumbuhan epitaksial, yang dirancang khusus untuk membawa wafer semikonduktor selama pengendapan film atau lapisan tipis. Dalam konteks Deposisi Uap Kimia Organik Logam (MOCVD), pelat ini dibuat secara khusus dari bahan yang tahan suhu tinggi dan memberikan permukaan yang stabil untuk pertumbuhan lapisan epitaksi.

Pelat Susceptor yang digunakan dalam proses ini terbuat dari bahan grafit yang dilapisi silikon karbida (SiC) melalui proses MOCVD itu sendiri. Silikon karbida menawarkan stabilitas termal, kekuatan mekanik, dan ketahanan terhadap reaksi kimia yang luar biasa, menjadikannya pilihan ideal untuk kondisi pertumbuhan epitaksi yang menuntut.

Selama MOCVD, Pelat Susceptor memainkan peran penting dengan mentransfer panas secara efektif ke wafer semikonduktor. Pelat tersebut menyerap energi dari lingkungan sekitar dan memancarkannya ke wafer, memfasilitasi deposisi film tipis yang terkontrol ke permukaan wafer. Kontrol suhu yang tepat ini penting untuk mencapai lapisan epitaksi yang seragam dan berkualitas tinggi, yang sangat penting dalam produksi perangkat semikonduktor canggih.

Pelat Susceptor dalam proses MOCVD, terdiri dari grafit berlapis SiC, berfungsi sebagai platform yang andal untuk mendukung wafer semikonduktor, memastikan perpindahan panas yang optimal, dan berkontribusi terhadap keberhasilan pertumbuhan epitaksi film tipis dengan karakteristik yang diinginkan untuk aplikasi semikonduktor.