Penerima dengan Grid

Semicorex Susceptor dengan Grid adalah komponen khusus yang digunakan dalam proses pertumbuhan epitaksi wafer semikonduktor. Peralatan penting ini dirancang untuk membawa dan mendukung wafer selama pengendapan material dalam sistem Deposisi Uap Kimia Organik Logam (MOCVD). Susceptor dengan Grid memainkan peran penting dalam memastikan pertumbuhan lapisan epitaksi yang seragam dan terkendali pada wafer semikonduktor.

Susceptor dengan Grid dibuat dengan bahan yang dioptimalkan untuk fungsinya. Dalam hal ini, terbuat dari grafit berlapis MOCVD SiC (Metal-Organic Chemical Vapour Deposition Silicon Carbide). Pilihan material ini memberikan beberapa keunggulan, antara lain ketahanan terhadap suhu tinggi, stabilitas kimia, dan konduktivitas termal yang sangat baik. Lapisan SiC pada grafit meningkatkan daya tahan dan ketahanan susceptor terhadap kondisi keras yang dihadapi selama proses pertumbuhan epitaksi.

Susceptor dengan struktur Grid berfungsi sebagai mekanisme pendukung wafer semikonduktor. Ini dirancang secara strategis untuk menahan wafer dengan aman di tempatnya sekaligus memungkinkan aliran gas yang efisien dan pengendapan material yang seragam. Pola grid membantu mendistribusikan panas dan reaktan secara merata ke seluruh permukaan wafer, berkontribusi terhadap kontrol yang tepat terhadap ketebalan dan komposisi lapisan epitaksi.

Semicorex Susceptor dengan Grid adalah komponen penting dalam proses pembuatan perangkat semikonduktor canggih. Konstruksinya yang kokoh dan desain khusus menjadikannya alat penting untuk mencapai pertumbuhan epitaksi berkualitas tinggi, memastikan produksi semikonduktor dengan kinerja dan keandalan yang unggul.