Kaset Teflon

Kaset Teflon Semicorex adalah pembawa wafer berkinerja tinggi yang secara khusus direkayasa untuk digunakan dalam menuntut lingkungan kimia di mana kemurnian, resistensi kimia, dan stabilitas termal sangat penting. Terbuat dari polytetrafluoroethylene (PTFE) dengan kemurnian tinggi, kaset ini banyak digunakan dalam manufaktur semikonduktor, etsa basah, pembersihan kimia, dan aplikasi lain di mana paparan bahan kimia yang sangat agresif adalah rutin. Sifat non-reaktif mereka membuat mereka ideal untuk menangani substrat halus seperti wafer silikon, panel kaca, dan komponen presisi lainnya tanpa memperkenalkan kontaminasi atau partikulat ke dalam proses.

Dalam berbagai proses manufaktur semikonduktor, seperti litografi, etsa, dan implantasi ion, kaset berperan dalam mengangkut dan mentransfer wafer antara perangkat yang berbeda. Peralatan proses yang berbeda mungkin memiliki persyaratan antarmuka yang berbeda untuk kaset untuk memastikan bahwa operator wafer dapat diterima dan ditempatkan secara akurat.

Dari perspektif material dan desain, bahan yang tahan panas, memiliki sifat mekanik yang sangat baik, stabilitas dimensi, dan tahan lama, anti-statis, outgassing rendah, presipitasi rendah, dan dapat didaur ulang umumnya digunakan. Ukuran wafer yang berbeda, node proses, dan proses menggunakan bahan yang berbeda. Bahan umumnya adalah PFA, PTFE, PP, Peek, PES, PC, PBT, PEI, COP, dll.

Kaset Teflon menawarkan ketahanan kimia yang unggul di lingkungan menggunakan asam hidrofluorat, asam nitrat, asam sulfat, dan korosif kuat lainnya. Tidak seperti bahan konvensional seperti polypropylene atau stainless steel, PTFE tidak terdegradasi; tidak membengkak; LEACHES Tidak ada zat dalam pemandian kimia yang keras. Oleh karena itu, kinerja dijamin dalam waktu yang lama dan karenanya keandalan kaset untuk jalur produksi throughput tinggi dan lingkungan yang sangat bersih. Ketahanannya berarti kebutuhan pemeliharaan yang lebih rendah dan frekuensi penggantian, sehingga mengurangi biaya operasi jangka panjang.

Kaset Teflon menunjukkan stabilitas termal yang sangat tinggi. Mereka dapat dengan mudah menahan suhu dari -200 ° C hingga +260 ° C, berlaku untuk cryogenic dan juga untuk proses suhu tinggi. Bahkan ditempatkan di ruang pengeringan yang dipanaskan atau pemandian kimia dingin, kaset tidak kehilangan kekuatan strukturalnya; Mereka tidak melengkung atau retak, memastikan bahwa wafer akan tetap dipegang dengan aman selama pemrosesan. Ketahanan suhu ini berkontribusi secara signifikan untuk proses kontrol dan keseragaman, yang sangat penting untuk semikonduktor dan fabrikasi MEMS.

Karakteristik yang sama pentingnya dari kaset Teflon adalah permukaannya yang inert dan non-stick. PTFE secara inheren tidak memungkinkan adsorpsi partikel dan residu kimia, oleh karena itu mengurangi risiko kontaminasi di lingkungan kamar bersih. Ini harus digabungkan dengan lapisan permukaan yang halus yang memungkinkan pembilasan mudah dan pengeringan dengan cepat, sehingga hasil yang lebih bersih dan hasil siklus yang lebih cepat. Dalam pemrosesan semikonduktor, di mana cacat dapat disebabkan oleh bahkan kontaminan mikroskopis, kebersihan dan tingkat inertness kimia ini wajib.

Setiap kaset secara akurat dibuat untuk toleransi ukuran yang ketat, menjamin penyelarasan dan jarak wafer yang stabil saat dipindahkan dan ditempatkan dalam cairan. Bentuknya yang mudah dirancang membantu aliran dan drainase kimia cepat, yang mempercepat nilai tukar kimia dan meningkatkan keseragaman pembersihan atau etsa pada permukaan wafer.  Kaset tersedia dalam ukuran standar untuk wafer 4-inci, 6-inci, dan 8 inci, dengan opsi kustomisasi yang tersedia agar sesuai dengan dimensi substrat tertentu, jumlah slot, dan persyaratan penanganan.

Dirancang untuk kompatibilitas dengan bangku basah otomatis dan sistem penanganan robot wafer, kaset Teflon berintegrasi dengan mudah ke sebagian besar pengaturan produksi semikonduktor. Konstruksi mereka yang kuat dan lapisan kelas bersih memenuhi tuntutan ketat dari lingkungan bersertifikat ISO. Semua kaset menjalani inspeksi menyeluruh dan telah dibersihkan sebelumnya dalam air ultra-murni untuk memenuhi standar kebersihan yang diperlukan untuk produksi mikroelektronika canggih. Sertifikat kesesuaian dan keterlacakan material penuh dapat disediakan untuk memastikan kepatuhan dengan protokol jaminan kualitas.