Chuck keramik berpori yang disesuaikan adalah solusi penjepitan dan pemasangan benda kerja unggul yang dirancang khusus untuk manufaktur semikonduktor. Memilih Semicorex berarti Anda akan mendapatkan keuntungan dari kualitas yang dapat diandalkan, layanan penyesuaian, dan peningkatan produktivitas.
Disesuaikanchuck keramik berporiterdiri dari alas dan pelat keramik berpori. Menghubungkan ke sistem vakum, lingkungan bertekanan rendah diciptakan dengan mengevakuasi udara antara wafer dan keramik. Di bawah tekanan negatif vakum, wafer melekat kuat pada permukaan chuck, yang pada akhirnya mencapai fiksasi dan pemosisian yang aman dan stabil.
Semicorex secara konsisten memprioritaskan kebutuhan mendasar pelanggan kami yang berharga sambil memberikan layanan kelas atas dan personal. Kami menawarkan beragam pilihan opsi yang memastikan bahwa chuck keramik berpori akhir yang disesuaikan dapat beradaptasi secara mulus dengan benda kerja dengan berbagai bentuk dan ukuran, sehingga secara efektif meningkatkan efisiensi pengoperasian peralatan dan stabilitas produksi.
Spesifikasinya:
|
Ukuran |
4 inci/6 inci/8 inci/12 inci |
|
Kebosanan |
2μm/2μm/3μm/3μm atau lebih tinggi |
|
Bahan plat keramik berpori |
Alumina dan silikon karbida |
|
Ukuran pori keramik berpori |
5-50μm |
|
Porositas keramik berpori |
35%-50% |
|
Fungsi anti-statis |
Opsional |
|
Bahan dasar |
Baja tahan karat, paduan aluminium dan keramik (silikon karbida) |
Chuck keramik berpori khusus dengan mesin presisi menawarkan distribusi gaya adsorpsi yang seragam di seluruh permukaan benda kerja, secara efektif mencegah deformasi benda kerja atau ketidakakuratan pemesinan yang disebabkan oleh penerapan gaya yang tidak merata. Selain itu, berkat ketahanan korosi kimia yang kuat dan ketahanan suhu tinggi yang luar biasa, chuck keramik berpori yang disesuaikan mempertahankan pengoperasian jangka panjang yang stabil di lingkungan produksi yang menantang dan kompleks.
Skenario Aplikasi:
1. Manufaktur Semikonduktor: Pemrosesan wafer seperti penipisan wafer, pemotongan dadu, penggilingan, pemolesan; proses deposisi uap kimia (CVD) dan deposisi uap fisik (PVD); implantasi ion.
2. Manufaktur Sel Fotovoltaik: Proses pemotongan, pelapisan, dan pengemasan wafer silikon dalam sel fotovoltaik.
3. Pemesinan Presisi: Menjepit dan memperbaiki benda kerja yang tipis, rapuh, atau berpresisi tinggi.