Chuck Silikon Karbida

Semicorexchuck silikon karbidaadalah perangkat adsorpsi fungsional yang terbuat darisilikon karbida(SiC) bahan keramik. Mereka terutama digunakan dalam semikonduktor, fotovoltaik, manufaktur presisi, dan skenario lain yang memiliki persyaratan sangat tinggi untuk ketahanan suhu tinggi, ketahanan aus, ketahanan korosi kimia, dan kebersihan material.

Bahan keramik SiC memiliki ketahanan suhu tinggi dan menjaga stabilitas strukturalnya di lingkungan bersuhu tinggi. Konduktivitas termalnya yang sangat baik memungkinkannya dengan cepat menghilangkan panas yang dihasilkan selama adsorpsi, mencegah benda kerja menjadi terlalu panas. Kekerasan material yang luar biasa membuatnya cocok untuk mencengkeram benda kerja yang kasar atau keras. Selain itu, kelembaman kimiawi bahan keramik SiC membuatnya tahan terhadap korosi oleh asam kuat, alkali kuat, dan pelarut organik. Kinerja pengendapan pengotor yang rendah dari bahan ini menghindari kontaminasi pengotor dan memperpanjang waktu pengoperasian normal peralatan, sehingga memenuhi persyaratan ultra-bersih dari industri semikonduktor.

Karakteristik khas chuck silikon karbida Semicorex

1. Presisi tinggi: kerataan adalah 0,3-0,5μm.

2. Pemolesan cermin

3. Sangat ringan

4. Kekakuan tinggi

5. Koefisien muai panas yang rendah

6. Ketahanan aus yang sangat baik

Skenario aplikasi chuck silikon karbida

Manufaktur semikonduktor

Transfer dan pemrosesan wafer: Dalam proses seperti fotolitografi dan etsa, wafer perlu teradsorpsi secara stabil dalam lingkungan vakum untuk menghindari kesalahan perpindahan.

Ketahanan korosi plasma: Dalam proses etsa semikonduktor, ketahanan korosi yang sangat baik dapat memperpanjang masa pakai produk.

Produksi sel fotovoltaik

Pemotongan wafer silikon: Menyerap wafer silikon untuk menahan getaran pemotongan dan mengurangi laju fragmentasi wafer silikon.

Manufaktur optik dan elektronik presisi

Pemrosesan substrat safir: Substrat safir yang digunakan dalam pembuatan chip LED memerlukan adsorpsi vakum. Gaya adsorpsi harus melebihi berat substrat dan menghindari goresan pada permukaan produk.

Chuck silikon karbida telah menjadi bahan habis pakai utama di bidang manufaktur kelas atas karena kinerjanya yang sangat baik, mendorong kemajuan teknologi dalam industri seperti semikonduktor, fotovoltaik, dan manufaktur presisi.