Semicorex adalah produsen dan pemasok Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor skala besar di Cina. Kami telah menjadi produsen dan pemasok Deep-UV LED Epitaxial Susceptor selama bertahun-tahun. Produk kami memiliki keunggulan harga yang baik dan mencakup sebagian besar pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Deep-UV LED Epitaxial Susceptors sangat penting untuk pembuatan LED. Pelat berlapis semicorex silicon carbide (SiC) membuat pembuatan wafer LED UV dalam berkualitas tinggi menjadi lebih efisien. Lapisan SiC adalah lapisan silikon karbida (SiC) yang padat dan tahan aus. Ini memiliki sifat tahan korosi dan panas yang tinggi serta konduktivitas termal yang sangat baik. Kami menerapkan SiC dalam lapisan tipis ke grafit menggunakan proses deposisi uap kimia (CVD).
Apa pun kebutuhan spesifik Anda, kami akan mengidentifikasi solusi terbaik untuk epitaksi MOCVD serta industri semikonduktor dan LED.
Deep-UV LED Epitaxial Susceptor kami dirancang untuk mencapai pola aliran gas laminar terbaik, memastikan kemerataan profil termal. Ini membantu mencegah kontaminasi atau difusi pengotor, memastikan pertumbuhan epitaxial berkualitas tinggi pada chip wafer.
Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang Susceptor Epitaxial LED Deep-UV kami.
Parameter Susceptor Epitaxial LED Deep-UV
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur kristal |
FCC β fase |
|
Kepadatan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran butir |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas Panas |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 titik) |
415 |
Modulus muda |
Gpa (tikungan 4pt, 1300â) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur Susceptor Epitaxial LED Deep-UV
- Penyimpangan panjang gelombang yang lebih rendah dan hasil chip yang lebih tinggi
- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.
- Toleransi dimensi yang lebih ketat menghasilkan hasil produk yang lebih tinggi dan biaya yang lebih rendah
- Hindari pengelupasan dan pastikan lapisan di semua permukaan
Ketahanan oksidasi suhu tinggi: Stabil pada suhu tinggi hingga 1600°C
Kemurnian tinggi: dibuat dengan pengendapan uap kimia CVD di bawah kondisi klorinasi suhu tinggi.
Ketahanan korosi: kekerasan tinggi, permukaan padat dan partikel halus.
Ketahanan korosi: asam, alkali, garam dan reagen organik.