Semicorex adalah produsen dan pemasok Susceptor Grafit Berlapis Silikon Karbida berskala besar di Tiongkok. Kami telah menjadi produsen dan pemasok Epitaxial Susceptor LED Deep-UV selama bertahun-tahun. Produk kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup sebagian besar pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Susceptors Epitaxial LED UV Dalam sangat penting untuk pembuatan LED. Pelat berlapis silikon karbida (SiC) semicorex membuat pembuatan wafer LED UV dalam berkualitas tinggi menjadi lebih efisien. Lapisan SiC adalah lapisan silikon karbida (SiC) yang padat dan tahan aus. Ini memiliki sifat tahan korosi dan panas yang tinggi serta konduktivitas termal yang sangat baik. Kami mengaplikasikan SiC dalam lapisan tipis pada grafit menggunakan proses deposisi uap kimia (CVD).
Apa pun kebutuhan spesifik Anda, kami akan mengidentifikasi solusi terbaik untuk epitaksi MOCVD serta industri semikonduktor dan LED.
Susceptor Epitaxial LED Deep-UV kami dirancang untuk mencapai pola aliran gas laminar terbaik, memastikan kemerataan profil termal. Hal ini membantu mencegah penyebaran kontaminasi atau kotoran, memastikan pertumbuhan epitaksi berkualitas tinggi pada chip wafer.
Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang Susceptor Epitaxial LED UV Dalam kami.
Parameter Susceptor Epitaksi LED UV Dalam
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur Kristal |
Fase FCC β |
|
Kepadatan |
gram/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran Butir |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas Panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Felekural |
MPa (RT 4 poin) |
415 |
Modulus Young |
IPK (tikungan 4pt, 1300℃) |
430 |
Ekspansi Termal (CTE) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur Susceptor Epitaksi LED UV Dalam
- Deviasi panjang gelombang yang lebih rendah dan hasil chip yang lebih tinggi
- Substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.
- Toleransi dimensi yang lebih ketat menghasilkan hasil produk yang lebih tinggi dan biaya yang lebih rendah
- Hindari mengelupas dan pastikan melapisi seluruh permukaan
Ketahanan oksidasi suhu tinggi: Stabil pada suhu tinggi hingga 1600°C
Kemurnian tinggi: dibuat dengan deposisi uap kimia CVD dalam kondisi klorinasi suhu tinggi.
Ketahanan korosi: kekerasan tinggi, permukaan padat dan partikel halus.
Ketahanan korosi: asam, alkali, garam dan reagen organik.