Apa itu tungku difusi?

Tungku difusi adalah peralatan khusus yang digunakan untuk memasukkan pengotor ke dalam wafer semikonduktor dengan cara yang terkendali. Pengotor ini, yang disebut dopan, mengubah sifat listrik semikonduktor, memungkinkan pembuatan berbagai jenis komponen elektronik. Proses difusi terkendali ini sangat penting untuk produksi transistor, dioda, dan sirkuit terpadu.

Tungku difusi terdiri dari beberapa komponen utama, termasuk tabung proses, elemen pemanas, mekanisme pemasukan udara, dan sistem kontrol. Tabung proses bertindak sebagai ruang tempat wafer ditempatkan. Bahan ini dapat menahan suhu tinggi dan gas korosif, menjadikannya bahan yang ideal untuk aplikasi ini.

Elemen pemanas, menyediakan panas yang diperlukan untuk menaikkan suhu tungku ke tingkat yang diinginkan. Suhu dalam tungku difusi biasanya mencapai 1200°C. Untuk memastikan pemanasan yang seragam, elemen pemanas sering kali disusun dalam bentuk heliks.

Mekanisme saluran masuk gas digunakan untuk memasukkan gas dopan ke dalam tungku. Dopan yang umum termasuk boron, fosfor, dan arsenik, bergantung pada sifat listrik yang diinginkan dari produk semikonduktor akhir. Sebuah sistem kontrol mengatur aliran gas dopan, menjaga kontrol yang tepat terhadap proses difusi.

Tungku difusi banyak digunakan dalam industri semikonduktor. Mereka digunakan dalam proses doping yang menciptakan sambungan pn pada transistor dan dioda. Tungku difusi juga memainkan peran penting dalam pembuatan sirkuit terpadu, di mana beberapa lapisan semikonduktor berbeda ditumpuk dan saling berhubungan.

Selain itu, tungku difusi sangat penting untuk pembuatan perangkat semikonduktor canggih seperti MOSFET daya (Transistor Efek Medan Semikonduktor Oksida Logam) dan Transistor Bipolar Gerbang Terisolasi (IGBTs). Perangkat ini sangat penting dalam elektronika daya dan teknologi energi terbarukan sehingga tungku difusi merupakan bagian integral dari produksinya.

Tungku difusi adalah alat penting dalam pembuatan semikonduktor, yang memungkinkan pengenalan dopan secara terkendali ke dalam wafer semikonduktor. Tungku ini merupakan bagian integral dari produksi berbagai perangkat semikonduktor seperti transistor, dioda, dan sirkuit terpadu. Seiring kemajuan teknologi, kemampuan tungku difusi terus meningkat, memungkinkan proses manufaktur yang lebih presisi dan andal. Industri semikonduktor sangat bergantung pada tungku ini untuk memenuhi permintaan peralatan elektronik canggih yang terus meningkat.

Semicorex membuat suku cadang SiC khusus untuk tungku difusi. Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi telepon #+86-13567891907

Email: penjualan@semicorex.com