Pelapisan bidang termal kristal tunggal silikon semikonduktor

Bagian yang dilapisi dalam bidang panas kristal tunggal silikon semikonduktor umumnya dilapisi dengan metode CVD, termasuk lapisan karbon pirolitik,Lapisan Silikon KarbidaDanLapisan Tantalum Karbida, masing-masing dengan karakteristik berbeda.

Poin umum: substratnya adalah grafit isostatik dengan kemurnian tinggi, umumnya abu kurang dari 5ppm; pelapisan menggunakan metode CVD; lapisan pada dasarnya adalah 100% karbon atau Silikon Karbida; setelah pelapisan permukaannya relatif padat, gas, terutama uap silikon tungku atau gas silikon oksida pada dasarnya dapat diblokir; penguapan debunya sendiri juga sangat sedikit.

Perbedaan: ketebalan lapisan standar, lapisan karbon pirolitik umumnya sekitar 40um; Pelapisan Silikon Karbida umumnya dilakukan sekitar 100um, namun sesuai dengan kebutuhan pelanggan yang berbeda, dapat dilakukan 30um~150um, termasuk satu lapisan dan dua lapisan; lapisan tantalum karbida umumnya 35±15um.

Lapisan karbon pirolitik, kepadatannya setara dengan grafit tidak berpori, yaitu sekitar 2,2. Ia memiliki resistivitas yang rendah dan konduktivitas termal yang tinggi pada arah paralel permukaan, sehingga dapat menjaga konsistensi suhu permukaan, serta memiliki koefisien muai panas yang rendah dan modulus elastisitas yang tinggi. Pada arah tegak lurus permukaan, koefisien muai panas lebih besar dan konduktivitas termal lebih rendah.

Untuk produk berlapis Silikon Karbida, modulus elastisitas lapisannya sangat tinggi, puluhan kali lebih tinggi dari modulus elastis substrat grafit internal, sehingga untuk menghindari pecahnya produk, perlu ditangani dengan hati-hati.

Lapisan karbon pirolitik dan lapisan Silicon Carbide semua kandungan pengotornya kurang dari 5ppm, dimana kandungan unsur logam utama kurang dari 0,1 atau 0,01ppm, maka yang lebih sulit untuk menangani unsur boron adalah 0,01 atau 0,15ppm.

Semicorex menawarkan produk pelapisan CVD berkualitas tinggi untuk semikonduktor dengan layanan khusus. Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi telepon #+86-13567891907

Email: penjualan@semicorex.com