Struktur Chuck Elektrostatis (ESC)

SebuahChuck Elektrostatis (ESC)adalah perangkat yang digunakan untuk menahan wafer semikonduktor pada tempatnya selama proses seperti etsa, pengendapan, atau pemolesan. Ini beroperasi dengan menghasilkan medan elektrostatik untuk menarik dan menahan wafer pada permukaan chuck dengan aman, memberikan stabilitas dan keselarasan yang tepat selama penanganan wafer. ESC banyak digunakan dalam manufaktur semikonduktor untuk meningkatkan akurasi proses dan efisiensi penanganan wafer.

Gambaran sebenarnya konvensionalchuck elektrostatis (ESC)digambarkan pada gambar. Perbedaan utama antar model terletak pada bahan lapisan isolasi pada permukaan chuck elektrostatis. Pada gambar, warna gelap melambangkan aluminium nitrida, sedangkan warna putih melambangkan aluminium oksida. Strukturchuck elektrostatisterdiri dari beberapa bagian:

1. **Lapisan Isolasi**: Lapisan ini bersentuhan dengan wafer, biasanya terbuat dari aluminium nitrida atau keramik aluminium oksida karena kekuatan mekaniknya yang sangat baik, ketahanan suhu tinggi, dan konduktivitas termal yang baik.

2. **Pin Ejektor dan Lubang Gas He**: Pin ejektor dirancang untuk memindahkan wafer. Ketika wafer memasuki ruang etsa, pin ejektor naik untuk menopangnya, dan kemudian turun untuk menempatkan wafer ke permukaan chuck elektrostatis. Pin ejektor biasanya memiliki struktur berongga, memungkinkan gas helium dimasukkan untuk membantu mendinginkan wafer.

3. **Saluran Aliran Kembali Dia**: Komponen ini meningkatkan pembuangan panas dan memfasilitasi adsorpsi wafer.

4. **Elektroda Elektrostatik**: Elektroda ini menghasilkan medan listrik yang menciptakan gaya elektrostatis yang diperlukan untuk menahan wafer di tempatnya. Biasanya, elektroda berbentuk planar dan tertanam di dalam atau diendapkan pada bahan isolasi. Bahan konduktif yang umum digunakan termasuk aluminium, tembaga, dan tungsten.

5. **Sirkulasi Air Pendingin dan Elektroda Pemanas**: Elemen-elemen ini terutama bertanggung jawab atas kontrol suhu keseluruhan chuck elektrostatis. Elektroda pemanas dan sirkulasi air pendingin bekerja bersama-sama untuk menjaga suhu wafer tetap stabil. Mengandalkan sirkulasi air pendingin saja dapat menyebabkan ketidakmampuan mengelola panas yang dihasilkan selama proses etsa, sehingga berpotensi mengganggu stabilitas proses.  

Semicorex menawarkan kualitas tinggiChuck Elektrostatis (ESC). Jika Anda memiliki pertanyaan atau memerlukan detail tambahan, jangan ragu untuk menghubungi kami.

Hubungi telepon #+86-13567891907

Email: penjualan@semicorex.com