Substrat SiC dapat memiliki cacat mikroskopis, seperti Threading Screw Dislocation (TSD), Threading Edge Dislocation (TED), Base Plane Dislocation (BPD), dan lain-lain. Cacat ini disebabkan oleh penyimpangan susunan atom pada tingkat atom. Kristal SiC mungkin juga memiliki dislokasi makroskopis, sep......
Baca selengkapnyaBerdasarkan hasil penelitian, lapisan TaC dapat berfungsi sebagai lapisan pelindung dan isolasi untuk memperpanjang masa pakai komponen grafit, meningkatkan keseragaman suhu radial, mempertahankan stoikiometri sublimasi SiC, menekan migrasi pengotor, dan mengurangi konsumsi energi. Pada akhirnya, sa......
Baca selengkapnyaDeposisi uap kimia CVD mengacu pada masuknya dua atau lebih bahan mentah berbentuk gas ke dalam ruang reaksi dalam kondisi vakum dan suhu tinggi, di mana bahan mentah berbentuk gas bereaksi satu sama lain untuk membentuk bahan baru, yang diendapkan pada permukaan wafer.
Baca selengkapnya