Homoepitaxy dan heteroepitaxy memainkan peran penting dalam ilmu material. Homoepitaxy melibatkan pertumbuhan lapisan kristal pada substrat dari bahan yang sama, memastikan cacat minimal karena pencocokan kisi yang sempurna. Sebaliknya, heteroepitaxy menumbuhkan lapisan kristal pada substrat materia......
Baca selengkapnyaUntuk mencapai persyaratan kualitas tinggi proses rangkaian chip IC dengan lebar garis lebih kecil dari 0,13μm hingga 28nm untuk wafer pemoles silikon berdiameter 300mm, penting untuk meminimalkan kontaminasi dari kotoran, seperti ion logam, pada permukaan wafer.
Baca selengkapnya