Filamen Pemanas SiC

Filamen Pemanas Semicorex SiC, elemen pemanas vakum tinggi yang dikembangkan untuk pemrosesan wafer dalam fabrikasi semikonduktor baru, adalah elemen pemanas inovatif yang dirancang denganinti grafitdan kemurnian tinggilapisan silikon karbida. Filamen khusus menggunakan konduktivitas termal grafit dan daya tahan serta perlindungan SiC, menghasilkan pemanas yang stabil dan hemat energi seiring waktu. Filamen Pemanas SiC dirancang untuk memanaskan wafer secara seragam dan mencapai spesifikasi, menjadikannya komponen yang sangat baik untuk pemrosesan semikonduktor suhu tinggi, seperti epitaksi, difusi, dan anil.

Filamen Pemanas SiC dibuat dengan grafit dengan kemurnian tinggi karena sifat termal grafit dan sifat listrik berkualitas. Grafit menyediakan fungsi pemanasan utama yang memungkinkan respons cepat dan pemanasan efisien di bawah beban listrik. Lapisan SiC yang padat dengan kemurnian tinggi melindungi filamen dari kemungkinan sumber kontaminasi. Lapisan SiC melindungi wafer dari kontaminasi kimia dan oksidasi, serta partikel di dalam ruangan, memperpanjang masa pakai filamen, dan menciptakan lingkungan ruangan yang bersih.

Kualitas utama dari Filamen Pemanas SiC adalah kemampuannya untuk menghasilkan pemanasan wafer yang seragam. Variasi suhu di seluruh wafer dapat menyebabkan cacat atau kehilangan hasil. Filamen Pemanas SiC memiliki konduktivitas termal yang sangat baik dan desain filamen yang kokoh memastikan panas akan stabil dan lebih seragam, membatasi gradien termal untuk kontrol proses absolut.

Filamen Pemanas SiC dapat disesuaikan, nilai hambatan listrik setiap filamen dapat disesuaikan untuk alat proses dan lingkungan pengoperasiannya. Kustomisasi ini memungkinkan teknologi silikon karbida mengontrol nilai resistansi geometri filamen, ketebalan lapisan, dan sifat material. Filamen Pemanas SiC dapat memuat berbagai desain tungku dengan berbagai ukuran wafer dan resep proses. Hal ini sangat menguntungkan bagi produsen semikonduktor, karena memungkinkan proses saat ini berjalan lebih efisien dan menjaga kompatibilitas dengan sistem yang sudah ada.  Fitur kinerja yang ketiga adalah daya tahan. Dalam proses semikonduktor suhu tinggi, elemen pemanas terkena lingkungan kimia yang sangat agresif dan siklus termal yang berulang.

Penerapan Filamen Pemanas Semicorex SiC mencakup beragam proses fabrikasi perangkat semikonduktor. Selama pertumbuhan epitaksial, misalnya, elemen pemanas memberikan suhu substrat yang stabil dan seragam untuk menyimpan film kristal berkualitas tinggi.