Dayung SiC

Dayung Semicorex SiC adalah "pembawa" wafer, membawa wafer ke dalam tungku yang lebih panas dari 1000 derajat Celcius. Inilah manfaat utamanya: kemurnian tinggi, stabilitas suhu tinggi, untuk menjaga kekakuan mekanis saat mengangkut sampel di lingkungan ekstrem. Bahan dengan kemurnian tinggi efektif untuk mencegah kotoran logam mengkontaminasi wafer; begitu pula stabilitas suhu tinggisilikon karbida, karena akan menjaga stabilitas kimia pada suhu pemrosesan yang mencegah pelepasan gas pengotor logam atau partikulat mengkontaminasi wafer, sehingga memastikan hasil wafer yang stabil. Akhirnya,dayung kantileverjuga kompatibel dengan sistem transfer wafer terintegrasi, yang semakin mengurangi ketergantungan pada manusia dan meningkatkan hasil.

SiC Paddles adalah komponen unik dari pembawa, khususnya untuk pengangkutan dan integrasi wafer semikonduktor ke dalam beban kerja batch dalam proses seperti oksidasi dan difusi suhu tinggi, antara lain. Dibuat dengan kemurnian tinggisilikon karbida (SiC), Dayung SiC memberikan stabilitas termal, kekuatan mekanik, dan ketahanan kimia untuk memastikan pengangkutan yang stabil di atas suhu 1000 °C. SiC Paddles diperlukan untuk pemrosesan wafer: ini akan memastikan bahwa substrat yang rapuh dapat ditangani dengan tepat sambil menjaga integritas dan konsistensi selama proses oksidasi, difusi, dan anil.

Didesain agar kuat dan andal, SiC Paddles adalah lengan tipe kantilever yang menampung perahu wafer atau tumpukan wafer. Dayung mendukung wafer saat dimasukkan atau dikeluarkan dari ruang proses. Bahan konvensional rusak pada suhu tinggi karena deformasi, lengkungan, atau degradasi kimia. Stabilitas mekanis dan integritas struktural silikon karbida memungkinkan dayung bertahan dalam beberapa siklus termal tanpa kehilangan bentuk atau fungsi. Kemampuan ini penting untuk menjaga kesejajaran tungku, memastikan wafer tidak rusak selama proses, dan meminimalkan waktu henti yang mahal.

Stabilitas termal SiC Paddles dilengkapi dengan ketahanan kimia yang sangat baik terhadap gas reaktif yang biasanya muncul dalam proses oksidasi dan difusi (misalnya oksigen, klorin, dan spesies agresif lainnya pada suhu tinggi). Banyak bahan akan hancur atau terkontaminasi bila terkena suhu tinggi dan oksigen. Silikon karbida bersifat inert secara kimia dan struktur mikronya yang padat memastikan bahwa reaksi kimia tidak akan terjadi, sehingga memberikan integritas struktur dayung dan lingkungan yang bersih untuk wafer. Risiko kontaminasi yang dihasilkan dijaga agar tetap minimum bagi produsen semikonduktor yang beroperasi di beberapa node proses paling canggih yang bahkan elemen kontaminan dapat menyebabkan perubahan signifikan pada kinerja perangkat.

Integritas mekanis yang terkait dengan SiC Paddles juga memberikan nilai dalam proses penanganan. Bentuk struktur kantilever memerlukan material yang mampu menahan beban tumpukan lapisan dan tidak melentur atau melorot. Modulus silikon karbida yang sangat tinggi dan kekerasan yang sangat tinggi menjadikannya pertimbangan yang baik untuk fungsi struktur mekanis yang diperlukan. SiC Paddle mempertahankan kerataan dan struktur meskipun diisi dengan wafer. Hal ini berarti pengendalian tungku dan kondisinya secara konstan selama periode produksi yang lama.