Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen keramik SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari suku cadang habis pakai untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti perahu wafer Silicon Carbide, dayung kantilever, tabung, dll untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Dayung Kantilever →
Cantilever Paddle adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, khususnya dalam tungku difusi atau LPCVD selama proses seperti difusi dan RTP.
Tabung Proses →
Process Tube adalah komponen penting, dirancang khusus dalam berbagai aplikasi pemrosesan semikonduktor seperti RTP, difusi.
Perahu Wafer →
Wafer Boat digunakan dalam pemrosesan semikonduktor, telah dirancang dengan cermat untuk memastikan wafer halus tetap aman selama tahap kritis produksi.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC dengan peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated sangat stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Semicorex juga memiliki produk keramik Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirkonia (ZrO2), Keramik Komposit, dll.
Kemampuan Semicorex Wafer Loader Arm untuk bertahan dalam kondisi ekstrem sekaligus mempertahankan kinerja luar biasa menegaskan nilainya dalam mengoptimalkan proses manufaktur dan mencapai tingkat produktivitas dan kualitas yang lebih tinggi. Integrasi bahan keramik alumina dengan kemurnian tinggi memastikan kebersihan, presisi, dan daya tahan yang unggul.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC Sealing Part menawarkan perpaduan kekerasan luar biasa, ketahanan kimia, dan stabilitas termal, menjadikannya signifikan untuk aplikasi industri yang menuntut. Karakteristik canggih dari SiC Sealing Part memastikan daya tahan, keandalan, dan efisiensi, sehingga meningkatkan kinerja dan umur panjang komponen.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC Boat adalah komponen canggih yang dirancang dengan cermat untuk pembuatan semikonduktor, khususnya dalam proses difusi dan termal. Dengan komitmen teguh kami untuk menyediakan produk berkualitas tinggi dengan harga bersaing, kami siap menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPerahu Wafer Semicorex SiC adalah komponen canggih yang dirancang dengan cermat untuk pembuatan semikonduktor, khususnya dalam proses difusi dan termal. Dengan komitmen teguh kami untuk menyediakan produk berkualitas tinggi dengan harga bersaing, kami siap menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Wafer Boat adalah komponen penting dalam proses manufaktur semikonduktor, yang dirancang khusus untuk digunakan dalam proses difusi, yang memainkan peran penting dalam penciptaan sirkuit yang sangat terintegrasi. Dengan komitmen teguh kami untuk menyediakan produk berkualitas tinggi dengan harga bersaing, kami siap menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Ceramic Electrostatic Chuck (ESC) adalah alat khusus yang dibuat dengan cermat untuk memenuhi tuntutan ketat manufaktur semikonduktor. Dengan komitmen teguh kami untuk menyediakan produk berkualitas tinggi dengan harga bersaing, kami siap menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.*
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan