Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen keramik SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari suku cadang habis pakai untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti perahu wafer Silicon Carbide, dayung kantilever, tabung, dll untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Dayung Kantilever →
Cantilever Paddle adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, khususnya dalam tungku difusi atau LPCVD selama proses seperti difusi dan RTP.
Tabung Proses →
Process Tube adalah komponen penting, dirancang khusus dalam berbagai aplikasi pemrosesan semikonduktor seperti RTP, difusi.
Perahu Wafer →
Wafer Boat digunakan dalam pemrosesan semikonduktor, telah dirancang dengan cermat untuk memastikan wafer halus tetap aman selama tahap kritis produksi.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC oleh peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated benar-benar stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Semicorex juga memiliki produk keramik Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirkonia (ZrO2), Keramik Komposit, dll.
Semicorex PBN Heaters membanggakan desain tiga lapis canggih yang dirancang untuk mendefinisikan ulang tolok ukur kinerja. Pada intinya terdapat fondasi yang dibuat dari pirolitik boron nitrida (PBN) dengan kemurnian tinggi, yang terkenal karena konduktivitas termalnya yang luar biasa dan integritas struktural yang kuat. kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Wafer Boat Carrier berdiri sebagai puncak inovasi dalam bidang pemrosesan semikonduktor. Dibuat dengan cermat dari grafit dan diperkaya dengan lapisan mutakhir dari Deposisi Uap Kimia (CVD) Silicon Carbide (SiC), kapal induk ini mencontohkan teknik presisi dan ilmu material tingkat lanjut. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Baffle Wafer Boat adalah peralatan canggih yang digunakan dalam pemrosesan semikonduktor. Ini telah dirancang dengan cermat untuk memastikan wafer halus tetap aman selama tahap kritis produksi. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC Vacuum Chuck mewakili puncak rekayasa presisi yang disesuaikan untuk industri semikonduktor yang menuntut. Dibuat dari substrat grafit dan ditingkatkan melalui teknik Deposisi Uap Kimia (CVD) yang canggih, perangkat inovatif ini dengan mulus mengintegrasikan sifat lapisan Silikon Karbida (SiC) yang tak tertandingi. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex SiC Wafer Chuck berdiri sebagai puncak inovasi dalam manufaktur semikonduktor, berfungsi sebagai komponen penting dalam proses rumit fabrikasi semikonduktor. Dibuat dengan presisi yang sangat teliti dan teknologi mutakhir, chuck ini memainkan peran yang sangat diperlukan dalam mendukung dan menstabilkan wafer silikon karbida (SiC) selama berbagai tahap produksi. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanLengan Robot Semicorex Zirconia ZrO2, komponen penting dalam pemrosesan semikonduktor untuk transfer dan penanganan wafer yang lancar. Dibuat untuk tahan terhadap tuntutan lingkungan bersuhu tinggi, korosif, dan abrasif, lengan keramik ini menawarkan daya tahan dan keandalan yang tak tertandingi. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan