Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen keramik SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari suku cadang habis pakai untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti perahu wafer Silicon Carbide, dayung kantilever, tabung, dll untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Dayung Kantilever →
Cantilever Paddle adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, khususnya dalam tungku difusi atau LPCVD selama proses seperti difusi dan RTP.
Tabung Proses →
Process Tube adalah komponen penting, dirancang khusus dalam berbagai aplikasi pemrosesan semikonduktor seperti RTP, difusi.
Perahu Wafer →
Wafer Boat digunakan dalam pemrosesan semikonduktor, telah dirancang dengan cermat untuk memastikan wafer halus tetap aman selama tahap kritis produksi.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC dengan peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated sangat stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Semicorex juga memiliki produk keramik Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirkonia (ZrO2), Keramik Komposit, dll.
Cincin fokus semicorex yang tahan lama untuk pemrosesan semikonduktor dirancang untuk tahan terhadap lingkungan ekstrem ruang etsa plasma yang digunakan dalam pemrosesan semikonduktor. Cincin fokus kami terbuat dari grafit kemurnian tinggi yang dilapisi dengan lapisan silikon karbida (SiC) yang padat dan tahan aus. Lapisan SiC memiliki sifat tahan korosi dan panas yang tinggi, serta konduktivitas termal yang sangat baik. Kami mengaplikasikan SiC dalam lapisan tipis pada grafit menggunakan proses deposisi uap kimia (CVD) untuk meningkatkan masa pakai cincin fokus kami.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin fokus pemrosesan Plasma Semicorex dirancang khusus untuk memenuhi tingginya permintaan pemrosesan etsa plasma di industri semikonduktor. Komponen Lapisan Silikon Karbida kami yang canggih dan memiliki kemurnian tinggi dibuat untuk tahan terhadap lingkungan ekstrem dan cocok untuk digunakan dalam berbagai aplikasi, termasuk lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Fokus SiC dengan kemurnian tinggi dan canggih dari Semicorex dibuat untuk tahan terhadap lingkungan ekstrem dalam ruang etsa plasma (atau etsa kering). Kami fokus pada industri semikonduktor seperti lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi. Produk kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex adalah produsen dan pemasok Silicon Carbide Coated Graphite berskala besar di Tiongkok. Cincin Segel Saluran Masuk MOCVD kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex adalah produsen dan pemasok Silicon Carbide Coated Graphite berskala besar di Tiongkok. Cincin Saluran Masuk MOCVD kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex adalah produsen dan pemasok Susceptor Grafit Berlapis Silikon Karbida berskala besar di Tiongkok. Kami fokus pada industri semikonduktor seperti lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi. Cincin Saluran Masuk Gas untuk Peralatan Semikonduktor kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan