Perahu SiC 6 inci

Semicorex 6 Inch SiC Boat adalah pembawa wafer canggih yang dirancang untuk mengoptimalkan kinerja dan efisiensi pemrosesan semikonduktor suhu tinggi, khususnya untuk aplikasi seperti oksidasi, difusi, dan proses termal lainnya. Terbuat dari silikon karbida (SiC) berkualitas tinggi, produk ini menawarkan solusi kuat untuk menahan wafer semikonduktor selama pengoperasian kritis pada suhu tinggi, memberikan stabilitas termal yang unggul, ketahanan korosi yang sangat baik, dan risiko kontaminasi minimal.

Perahu SiC 6 Inci diproduksi menggunakan silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi, bahan yang dikenal karena sifat termalnya yang luar biasa, ketahanan terhadap bahan kimia, dan daya tahan di lingkungan yang keras. SiC banyak digunakan dalam manufaktur semikonduktor karena titik lelehnya yang tinggi (sekitar 2.700°C), sehingga ideal untuk aplikasi suhu tinggi seperti pemrosesan wafer dalam tungku oksidasi dan difusi. Desain kapal memastikan integritas struktural yang sangat baik dan distribusi panas yang seragam, yang sangat penting untuk mencapai hasil yang konsisten dalam pertumbuhan kristal semikonduktor, oksidasi, dan perlakuan termal lainnya.

Fitur dan Manfaat Utama

Stabilitas Termal Tinggi

Konduktivitas termal SiC yang luar biasa memastikan Perahu SiC 6 Inci dapat menahan suhu ekstrem tanpa melengkung atau rusak. Sifat ini sangat berharga selama proses oksidasi dan difusi, dimana kontrol suhu yang tepat sangat penting untuk pemrosesan wafer yang konsisten.

Ketahanan Kimia Yang Sangat Baik

Ketahanan inheren silikon karbida terhadap korosi kimia menjadikan perahu ini ideal untuk digunakan di lingkungan yang sering terpapar gas agresif, seperti oksigen, nitrogen, atau unsur reaktif lainnya. Perahu mempertahankan integritas struktural dan kinerjanya di lingkungan bersuhu tinggi dan reaktif secara kimia, sehingga mengurangi kemungkinan kontaminasi.

Daya Tahan Suhu Tinggi

Perahu SiC 6 Inci dirancang untuk bekerja pada suhu hingga 1.500°C, yang merupakan persyaratan untuk banyak proses semikonduktor suhu tinggi, termasuk oksidasi dan difusi. Toleransi suhu tinggi ini memastikan masa pakai yang lama bahkan dalam aplikasi yang berat sekalipun.

Risiko Kontaminasi Rendah

Salah satu faktor penting dalam pemrosesan semikonduktor adalah meminimalkan kontaminasi pada permukaan wafer. Tingkat pengotor SiC yang rendah dan sifat non-reaktif memastikan bahwa SiC Boat 6 Inci berkontribusi terhadap lingkungan yang bersih dan terkendali, sehingga mengurangi risiko kontaminasi yang tidak diinginkan selama pemrosesan.

Dukungan Wafer Seragam

Desain perahu memastikan wafer ditopang secara merata, menjaga kesejajaran wafer optimal dan mencegah kendur atau ketidaksejajaran selama pemrosesan suhu tinggi. Dukungan seragam ini penting untuk memastikan hasil yang konsisten dan mencegah cacat wafer.

Opsi Kustomisasi

Perahu SiC 6 Inci dapat disesuaikan agar sesuai dengan kebutuhan pelanggan tertentu, termasuk ukuran, bentuk, dan konfigurasi yang disesuaikan untuk berbagai jenis wafer. Baik digunakan untuk oksidasi, difusi, atau proses termal lainnya, perahu dapat dioptimalkan untuk aliran proses khusus pelanggan.

Aplikasi dalam Manufaktur Semikonduktor

Perahu SiC 6 Inci terutama digunakan dalam proses termal suhu tinggi di manufaktur semikonduktor. Hal ini sangat efektif dalam tungku oksidasi dan difusi, yang memerlukan kontrol suhu dan atmosfer yang tepat agar pemrosesan wafer berhasil.

• Proses Oksidasi: Selama proses oksidasi, wafer silikon terkena oksigen pada suhu tinggi untuk membentuk lapisan silikon dioksida tipis pada permukaan wafer. Perahu SiC 6 Inci memastikan bahwa wafer tertahan dengan aman dan merata selama proses suhu tinggi ini, mencegah deformasi atau ketidaksejajaran dan memastikan pertumbuhan lapisan oksida yang seragam.
• Proses Difusi: Dalam proses difusi, dopan dimasukkan ke dalam wafer silikon untuk mengubah sifat listriknya. SiC Boat memberikan dukungan yang stabil dan andal untuk wafer selama tahap kritis ini, di mana suhu tinggi dan kontrol lingkungan difusi yang tepat adalah hal yang terpenting. Stabilitas termalnya yang sangat baik memastikan pemanasan seragam, yang sangat penting untuk mencapai profil dopan yang diinginkan.
• Aplikasi Suhu Tinggi Lainnya: Selain oksidasi dan difusi, Perahu SiC 6 Inci dapat digunakan dalam proses suhu tinggi lainnya, seperti anil, nitridasi, dan pertumbuhan epitaksial. Konduktivitas termalnya yang tinggi dan ketahanannya terhadap guncangan termal menjadikannya solusi serbaguna untuk berbagai tahap fabrikasi perangkat semikonduktor.

Keunggulan Dibandingkan Bahan Lain

Dibandingkan dengan bahan tradisional seperti kuarsa atau grafit, silikon karbida menawarkan keunggulan signifikan dalam pembuatan semikonduktor. Perahu kuarsa lebih rentan terhadap guncangan termal dan reaksi kimia, sedangkan perahu grafit dapat mengeluarkan gas dan menimbulkan kontaminasi. Sebaliknya, kapal SiC mempertahankan kinerjanya di lingkungan yang keras tanpa risiko kontaminasi, ketidakstabilan termal, atau degradasi. Hal ini menjadikan Perahu SiC 6 Inci pilihan yang lebih andal dan efisien untuk pemrosesan semikonduktor suhu tinggi.

Semicorex 6 Inch SiC Boat adalah komponen penting dalam industri semikonduktor, memberikan stabilitas yang diperlukan, ketahanan terhadap bahan kimia, dan kinerja termal yang diperlukan untuk pemrosesan wafer tingkat lanjut. Konduktivitas termalnya yang tinggi, ketahanan terhadap korosi kimia, dan risiko kontaminasi minimal menjadikannya pilihan ideal untuk oksidasi, difusi, dan proses semikonduktor suhu tinggi lainnya. Baik digunakan dalam penelitian dan pengembangan atau produksi skala besar, Perahu SiC 6 Inci memberikan kinerja dan keandalan yang diperlukan untuk memastikan hasil kualitas tertinggi dalam manufaktur semikonduktor.