Pelapisan SiC merupakan lapisan tipis pada suseptor melalui proses deposisi uap kimia (CVD). Bahan silikon karbida memberikan sejumlah keunggulan dibandingkan silikon, termasuk 10x kekuatan medan listrik kerusakan, 3x celah pita, yang memberikan bahan tersebut ketahanan suhu dan bahan kimia yang tinggi, ketahanan aus yang sangat baik, serta konduktivitas termal.
Semicorex memberikan layanan yang disesuaikan, membantu Anda berinovasi dengan komponen yang bertahan lebih lama, mengurangi waktu siklus, dan meningkatkan hasil.
Lapisan SiC memiliki beberapa keunggulan unik
Ketahanan Suhu Tinggi: Susceptor berlapis CVD SiC dapat menahan suhu tinggi hingga 1600°C tanpa mengalami degradasi termal yang signifikan.
Ketahanan Kimia: Lapisan silikon karbida memberikan ketahanan yang sangat baik terhadap berbagai bahan kimia, termasuk asam, basa, dan pelarut organik.
Ketahanan Aus: Lapisan SiC memberikan ketahanan aus yang sangat baik pada material, sehingga cocok untuk aplikasi yang melibatkan keausan tinggi.
Konduktivitas Termal: Lapisan CVD SiC memberikan material dengan konduktivitas termal yang tinggi, sehingga cocok untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi yang memerlukan perpindahan panas yang efisien.
Kekuatan dan Kekakuan Tinggi: Susceptor berlapis silikon karbida memberikan material dengan kekuatan dan kekakuan tinggi, sehingga cocok untuk aplikasi yang membutuhkan kekuatan mekanik tinggi.
Lapisan SiC digunakan dalam berbagai aplikasi
Manufaktur LED: Susceptor berlapis CVD SiC digunakan dalam proses pembuatan berbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV, dan LED UV dalam, karena konduktivitas termal yang tinggi dan ketahanan terhadap bahan kimia.
Komunikasi seluler: Susceptor berlapis CVD SiC adalah bagian penting dari HEMT untuk menyelesaikan proses epitaksi GaN-on-SiC.
Pemrosesan Semikonduktor: Susceptor berlapis CVD SiC digunakan dalam industri semikonduktor untuk berbagai aplikasi, termasuk pemrosesan wafer dan pertumbuhan epitaksi.
Komponen grafit berlapis SiC
Dibuat dengan grafit Silicon Carbide Coating (SiC), pelapisan ini diterapkan dengan metode CVD pada tingkat tertentu grafit kepadatan tinggi, sehingga dapat beroperasi di tungku suhu tinggi dengan suhu lebih dari 3000 °C dalam atmosfer inert, 2200 °C dalam ruang hampa. .
Sifat khusus dan massa material yang rendah memungkinkan laju pemanasan yang cepat, distribusi suhu yang seragam, dan presisi pengendalian yang luar biasa.
Data material Lapisan SiC Semicorex
Properti khas |
Satuan |
Nilai-nilai |
Struktur |
|
Fase FCC β |
Orientasi |
Pecahan (%) |
111 lebih disukai |
Kepadatan massal |
gram/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasitas Panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Ekspansi termal 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Young |
IPK (tikungan 4pt, 1300℃) |
430 |
Ukuran Butir |
m |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Felekural |
MPa (RT 4 poin) |
415 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan Susceptor berlapis CVD SiC merupakan material komposit yang menggabungkan sifat susceptor dan silikon karbida. Bahan ini memiliki sifat unik, termasuk ketahanan terhadap suhu dan bahan kimia yang tinggi, ketahanan aus yang sangat baik, konduktivitas termal yang tinggi, serta kekuatan dan kekakuan yang tinggi. Sifat-sifat ini menjadikannya bahan yang menarik untuk berbagai aplikasi suhu tinggi, termasuk pemrosesan semikonduktor, pemrosesan kimia, perlakuan panas, pembuatan sel surya, dan pembuatan LED.
Pelat Pembawa Grafit RTP Semicorex adalah solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer semikonduktor, termasuk pertumbuhan epitaksi dan pemrosesan penanganan wafer. Produk kami dirancang untuk menawarkan ketahanan panas dan keseragaman termal yang unggul, memastikan bahwa suseptor epitaksi terkena lingkungan pengendapan, dengan ketahanan panas dan korosi yang tinggi.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex RTP SiC Coating Carrier menawarkan ketahanan panas dan keseragaman termal yang unggul, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer semikonduktor. Dengan grafit berlapis SiC berkualitas tinggi, produk ini dirancang untuk tahan terhadap lingkungan pengendapan paling keras untuk pertumbuhan epitaksi. Konduktivitas termal yang tinggi dan sifat distribusi panas yang sangat baik memastikan kinerja yang andal untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier dirancang untuk tahan terhadap kondisi lingkungan pengendapan yang paling berat. Dengan ketahanan panas dan korosi yang tinggi, produk ini dirancang untuk memberikan kinerja optimal untuk pertumbuhan epitaksi. Pembawa berlapis SiC memiliki konduktivitas termal yang tinggi dan sifat distribusi panas yang sangat baik, memastikan kinerja yang andal untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPelat Pembawa RTP Grafit Semicorex SiC untuk MOCVD menawarkan ketahanan panas dan keseragaman termal yang unggul, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer semikonduktor. Dengan grafit berlapis SiC berkualitas tinggi, produk ini dirancang untuk tahan terhadap lingkungan pengendapan paling keras untuk pertumbuhan epitaksi. Konduktivitas termal yang tinggi dan sifat distribusi panas yang sangat baik memastikan kinerja yang andal untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPelat Pembawa RTP Dilapisi Semicorex SiC untuk Pertumbuhan Epitaxial adalah solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer semikonduktor. Dengan suseptor grafit karbon berkualitas tinggi dan cawan lebur kuarsa yang diproses oleh MOCVD pada permukaan grafit, keramik, dll., produk ini ideal untuk penanganan wafer dan pemrosesan pertumbuhan epitaksi. Pembawa berlapis SiC memastikan konduktivitas termal yang tinggi dan sifat distribusi panas yang sangat baik, menjadikannya pilihan yang dapat diandalkan untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex adalah produsen dan pemasok Susceptor Grafit Berlapis Silikon Karbida berskala besar di Tiongkok. Susceptor grafit semicorex dirancang khusus untuk peralatan epitaksi dengan ketahanan panas dan korosi yang tinggi di Cina. RTP RTA SiC Coated Carrier kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan