Pelapisan SiC merupakan lapisan tipis pada suseptor melalui proses deposisi uap kimia (CVD). Bahan silikon karbida memberikan sejumlah keunggulan dibandingkan silikon, termasuk 10x kekuatan medan listrik kerusakan, 3x celah pita, yang memberikan bahan tersebut ketahanan suhu dan bahan kimia yang tinggi, ketahanan aus yang sangat baik, serta konduktivitas termal.
Semicorex memberikan layanan yang disesuaikan, membantu Anda berinovasi dengan komponen yang bertahan lebih lama, mengurangi waktu siklus, dan meningkatkan hasil.
Lapisan SiC memiliki beberapa keunggulan unik
Ketahanan Suhu Tinggi: Susceptor berlapis CVD SiC dapat menahan suhu tinggi hingga 1600°C tanpa mengalami degradasi termal yang signifikan.
Ketahanan Kimia: Lapisan silikon karbida memberikan ketahanan yang sangat baik terhadap berbagai bahan kimia, termasuk asam, basa, dan pelarut organik.
Ketahanan Aus: Lapisan SiC memberikan ketahanan aus yang sangat baik pada material, sehingga cocok untuk aplikasi yang melibatkan keausan tinggi.
Konduktivitas Termal: Lapisan CVD SiC memberikan material dengan konduktivitas termal yang tinggi, sehingga cocok untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi yang memerlukan perpindahan panas yang efisien.
Kekuatan dan Kekakuan Tinggi: Susceptor berlapis silikon karbida memberikan material dengan kekuatan dan kekakuan tinggi, sehingga cocok untuk aplikasi yang membutuhkan kekuatan mekanik tinggi.
Lapisan SiC digunakan dalam berbagai aplikasi
Manufaktur LED: Susceptor berlapis CVD SiC digunakan dalam proses pembuatan berbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV, dan LED UV dalam, karena konduktivitas termal yang tinggi dan ketahanan terhadap bahan kimia.
Komunikasi seluler: Susceptor berlapis CVD SiC adalah bagian penting dari HEMT untuk menyelesaikan proses epitaksi GaN-on-SiC.
Pemrosesan Semikonduktor: Susceptor berlapis CVD SiC digunakan dalam industri semikonduktor untuk berbagai aplikasi, termasuk pemrosesan wafer dan pertumbuhan epitaksi.
Komponen grafit berlapis SiC
Dibuat dengan grafit Silicon Carbide Coating (SiC), pelapisan ini diterapkan dengan metode CVD pada tingkat tertentu grafit kepadatan tinggi, sehingga dapat beroperasi di tungku suhu tinggi dengan suhu lebih dari 3000 °C dalam atmosfer inert, 2200 °C dalam ruang hampa. .
Sifat khusus dan massa material yang rendah memungkinkan laju pemanasan yang cepat, distribusi suhu yang seragam, dan presisi pengendalian yang luar biasa.
Data material Lapisan SiC Semicorex
Properti khas |
Satuan |
Nilai-nilai |
Struktur |
|
Fase FCC β |
Orientasi |
Pecahan (%) |
111 lebih disukai |
Kepadatan massal |
gram/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasitas Panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Ekspansi termal 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Young |
IPK (tikungan 4pt, 1300℃) |
430 |
Ukuran Butir |
m |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Felekural |
MPa (RT 4 poin) |
415 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan Susceptor berlapis CVD SiC merupakan material komposit yang menggabungkan sifat susceptor dan silikon karbida. Bahan ini memiliki sifat unik, termasuk ketahanan terhadap suhu dan bahan kimia yang tinggi, ketahanan aus yang sangat baik, konduktivitas termal yang tinggi, serta kekuatan dan kekakuan yang tinggi. Sifat-sifat ini menjadikannya bahan yang menarik untuk berbagai aplikasi suhu tinggi, termasuk pemrosesan semikonduktor, pemrosesan kimia, perlakuan panas, pembuatan sel surya, dan pembuatan LED.
Semicorex adalah pemasok dan produsen tepercaya susceptor grafit lapisan silikon karbida untuk MOCVD. Produk kami dirancang khusus untuk memenuhi kebutuhan industri semikonduktor dalam menumbuhkan lapisan epitaksi pada chip wafer. Produk ini digunakan sebagai pelat tengah di MOCVD, dengan desain berbentuk roda gigi atau cincin. Ini memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, sehingga ideal untuk digunakan di lingkungan ekstrim.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex adalah pemasok dan produsen Platform Satelit Grafit MOCVD Berlapis SiC yang memiliki reputasi baik. Produk kami dirancang khusus untuk memenuhi kebutuhan industri semikonduktor dalam menumbuhkan lapisan epitaksi pada chip wafer. Produk ini digunakan sebagai pelat tengah di MOCVD, dengan desain berbentuk roda gigi atau cincin. Ini memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, sehingga ideal untuk digunakan di lingkungan ekstrim.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex adalah produsen dan pemasok terkenal Pelat Cakram Bintang Penutup MOCVD berkualitas tinggi untuk Wafer Epitaxy. Produk kami dirancang khusus untuk memenuhi kebutuhan industri semikonduktor, khususnya dalam menumbuhkan lapisan epitaksi pada chip wafer. Susceptor kami digunakan sebagai pelat tengah di MOCVD, dengan desain berbentuk roda gigi atau cincin. Produk ini sangat tahan terhadap panas tinggi dan korosi, sehingga ideal untuk digunakan di lingkungan ekstrem.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex adalah pemasok dan produsen terkemuka MOCVD Susceptor untuk Pertumbuhan Epitaxial. Produk kami banyak digunakan dalam industri semikonduktor, khususnya pada pertumbuhan lapisan epitaksi pada chip wafer. Susceptor kami dirancang untuk digunakan sebagai pelat tengah di MOCVD, dengan desain berbentuk roda gigi atau cincin. Produk ini memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, sehingga stabil di lingkungan ekstrim.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex adalah produsen dan pemasok terkemuka Susceptor MOCVD Berlapis SiC. Produk kami dirancang khusus untuk industri semikonduktor untuk menumbuhkan lapisan epitaksial pada chip wafer. Pembawa grafit berlapis Silikon Karbida dengan kemurnian tinggi digunakan sebagai pelat tengah di MOCVD, dengan desain berbentuk roda gigi atau cincin. Susceptor kami banyak digunakan dalam peralatan MOCVD, memastikan ketahanan panas dan korosi yang tinggi, serta stabilitas yang baik di lingkungan yang ekstrim.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex adalah produsen dan pemasok Susceptor Grafit Berlapis Silikon Karbida berskala besar di Tiongkok. Kami fokus pada industri semikonduktor seperti lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi. Susceptor Grafit Berlapis SiC kami untuk MOCVD memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan