Bagian Grafit Dilapisi Tantalum Karbida

Bagian Grafit Dilapisi Tantalum Karbida memainkan peran penting dalam proses manufaktur semikonduktor, yang mengutamakan presisi, keandalan, dan ketahanan terhadap kondisi keras. Komponen yang diperlakukan secara khusus ini, termasuk cincin etsa dan cawan lebur, dirancang untuk tahan terhadap lingkungan menantang yang dihadapi dalam fabrikasi semikonduktor.

Bagian Grafit Dilapisi Tantalum Karbida seperti cincin Etsa adalah komponen penting yang digunakan dalam industri semikonduktor untuk proses seperti deposisi uap kimia (CVD) dan deposisi uap fisik (PVD). Cincin ini bersentuhan langsung dengan gas reaktif dan lingkungan bersuhu tinggi selama proses etsa.

Bagian Grafit Dilapisi Tantalum Karbida dilapisi dengan lapisan tipis tantalum karbida. Lapisan ini memberikan ketahanan aus yang luar biasa dan perlindungan terhadap bahan kimia korosif, memastikan umur panjang dan kinerja yang konsisten.

Lapisan tantalum karbida meningkatkan kekerasan dan stabilitas kimia cincin etsa, mencegah degradasi dan kontaminasi. Hal ini juga berkontribusi terhadap hasil etsa yang seragam dan masa pakai operasional yang lama.