Efektor Ujung Keramik

Semicorex adalah partner Anda untuk komponen dan rakitan grafit tingkat lanjut guna mendukung throughput yang lebih tinggi dan hasil yang lebih baik pada peralatan pemrosesan semikonduktor Anda. Pakar material kami siap bekerja sama dengan Anda untuk mengembangkan solusi optimal dan tepat untuk kebutuhan penanganan, pemanasan, dan pemrosesan wafer Anda. Ceramic End Effector kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Ceramic End Effector adalah tangan robot yang menggerakkan wafer semikonduktor antar posisi pada peralatan pengolah wafer dan pembawa. Efektor akhir harus memiliki dimensi yang presisi dan stabil secara termal, serta memiliki permukaan yang halus dan tahan abrasi agar dapat menangani wafer dengan aman tanpa merusak perangkat atau menghasilkan kontaminasi partikulat. Efektor Ujung Keramik silikon karbida kemurnian tinggi kami memberikan ketahanan panas yang unggul, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten, dan ketahanan kimia yang tahan lama.

Di Semicorex, kami fokus pada penyediaan Ceramic End Effector yang berkualitas tinggi dan hemat biaya, kami mengutamakan kepuasan pelanggan dan memberikan solusi hemat biaya. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas tinggi dan layanan pelanggan yang luar biasa.

Parameter Efektor Ujung Keramik

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	Fase FCC β
Kepadatan	gram/cm³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Ukuran Butir	μm	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Felekural	MPa (RT 4 poin)	415
Modulus Young	IPK (tikungan 4pt, 1300℃)	430
Ekspansi Termal (CTE)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300