Pemanas Proses Wafer

Semicorex adalah produsen dan pemasok Susceptor Grafit Berlapis Silikon Karbida berskala besar di Tiongkok. Kami fokus pada industri semikonduktor seperti lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi. Pemanas Proses Wafer kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Semicorex Wafer Process Heater dibuat dari grafit Silicon Carbide Coating (SiC), pelapisan diterapkan dengan metode CVD pada kadar grafit kepadatan tinggi tertentu, sehingga dapat beroperasi di tungku suhu tinggi dengan suhu lebih dari 3000 °C dalam atmosfer inert, 2200 °C dalam ruang hampa.
Sifat khusus dan massa rendah dari bahan Wafer Process Heater memungkinkan laju pemanasan yang cepat, distribusi suhu yang seragam, dan presisi kontrol yang luar biasa. Dibandingkan dengan material lain, permukaan Silicon Carbide tetap datar karena ekspansi termal yang rendah bahkan ketika dioperasikan dengan perubahan suhu yang cepat. Pelat panas sangat cocok untuk proses yang menuntut dalam sistem pemrosesan semikonduktor.
Di Semicorex, kami fokus pada penyediaan produk berkualitas tinggi dan hemat biaya kepada pelanggan kami. Pemanas Proses Wafer kami memiliki keunggulan harga dan diekspor ke banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami bertujuan untuk menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk dengan kualitas yang konsisten dan layanan pelanggan yang luar biasa.

Parameter Pemanas Proses Wafer

Spesifikasi Teknis	dokter hewan-M3
Kepadatan Massal (g/cm3)	≥1,85
Kadar Abu (PPM)	≤500
Kekerasan Pantai	≥45
Resistensi Spesifik (μ.Ω.m)	≤12
Kekuatan Lentur (Mpa)	≥40
Kuat Tekan (Mpa)	≥70
Maks. Ukuran Butir (μm)	≤43
Koefisien Ekspansi Termal Mm/°C	≤4.4*10-6

Fitur Pemanas Proses Wafer

- Lapisan CVD SiC untuk meningkatkan masa pakai.
- Ketahanan suhu tinggi, ketahanan korosi, masa pakai yang lama, dapat meningkatkan kualitas dan hasil wafer.
- Ini memiliki koefisien muai panas yang sangat rendah, ketahanan suhu tinggi, ketahanan aus yang tinggi, insulasi yang baik, stabilitas kimia yang baik, dan penetrasi cahaya tampak mendekati ungu (merah).

Kami dapat menyediakan wadah grafit anti-oksidasi dan umur panjang, cetakan grafit dan semua bagian pemanas grafit.