Semicorex adalah produsen terkemuka yang dimiliki secara independen untuk Silicon Carbide Coated Graphite, Precision Machined High Purity Graphite yang berfokus pada Silicon Carbide Coated Graphite, Silicon Carbide Ceramic, area MOCVP manufaktur semikonduktor. Pemanas Wafer Berlapis SiC kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Semicorex SiC Coated Wafer Heater dapat beroperasi di tungku suhu tinggi dengan suhu lebih dari 3000 °C dalam atmosfer inert, 2200 °C dalam ruang hampa. Pemanas Wafer Berlapis SiC dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten, serta ketahanan terhadap bahan kimia yang tahan lama. Lapisan kristal SiC yang halus memberikan permukaan yang bersih dan halus, penting untuk penanganan karena wafer murni bersentuhan dengan susceptor di banyak titik di seluruh areanya.
Di Semicorex, kami fokus pada penyediaan SiC Coated Wafer Heater berkualitas tinggi dan hemat biaya, kami mengutamakan kepuasan pelanggan dan memberikan solusi hemat biaya. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas tinggi dan layanan pelanggan yang luar biasa.
Parameter Pemanas Wafer Berlapis SiC
Spesifikasi Teknis |
dokter hewan-M3 |
Kepadatan Massal (g/cm3) |
≥1,85 |
Kadar Abu (PPM) |
≤500 |
Kekerasan Pantai |
≥45 |
Resistensi Spesifik (μ.Ω.m) |
≤12 |
Kekuatan Lentur (Mpa) |
≥40 |
Kuat Tekan (Mpa) |
≥70 |
Maks. Ukuran Butir (μm) |
≤43 |
Koefisien Ekspansi Termal Mm/°C |
≤4.4*10-6 |
Fitur Pemanas Wafer Berlapis SiC
- Grafit berlapis SiC dengan kemurnian tinggi
- Ketahanan panas yang unggul & keseragaman termal
- Dilapisi kristal SiC halus untuk permukaan yang halus
- Daya tahan tinggi terhadap pembersihan kimia
- Bahan dirancang agar tidak terjadi keretakan dan delaminasi.