Pilih Sistem Etsa Plasma ICP Semicorex untuk Proses PSS untuk proses epitaksi dan MOCVD berkualitas tinggi. Produk kami direkayasa khusus untuk proses ini, menawarkan ketahanan panas dan korosi yang unggul. Dengan permukaan yang bersih dan halus, pengangkut kami sangat cocok untuk menangani wafer asli.
Sistem Etsa Plasma ICP Semicorex untuk Proses PSS memberikan ketahanan panas dan korosi yang sangat baik untuk penanganan wafer dan proses pengendapan film tipis. Lapisan kristal SiC halus kami menawarkan permukaan yang bersih dan halus, memastikan penanganan wafer asli yang optimal.
Di Semicorex, kami fokus untuk menyediakan produk berkualitas tinggi dan hemat biaya kepada pelanggan kami. Sistem etsa plasma ICP kami untuk proses PSS memiliki keunggulan harga dan diekspor ke banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami bertujuan untuk menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas yang konsisten dan layanan pelanggan yang luar biasa.
Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang Sistem Pengetsaan Plasma ICP kami untuk Proses PSS.
Parameter Sistem Etsa Plasma ICP untuk Proses PSS
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur kristal |
FCC β fase |
|
Kepadatan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran butir |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas Panas |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 titik) |
415 |
Modulus Muda |
Gpa (tikungan 4pt, 1300â) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur Sistem Etsa Plasma ICP untuk Proses PSS
- Hindari pengelupasan dan pastikan lapisan di semua permukaan
Ketahanan oksidasi suhu tinggi: Stabil pada suhu tinggi hingga 1600°C
Kemurnian tinggi: dibuat dengan pengendapan uap kimia CVD di bawah kondisi klorinasi suhu tinggi.
Ketahanan korosi: kekerasan tinggi, permukaan padat dan partikel halus.
Ketahanan korosi: asam, alkali, garam dan reagen organik.
- Mencapai pola aliran gas laminar terbaik
- Menjamin kemerataan profil termal
- Mencegah kontaminasi atau difusi kotoran