Suseptor Wafer Silikon Monokristalin

Semicorex Monocrystalline Silicon Wafer Susceptor adalah solusi ideal untuk proses penanganan epitaksi grafit dan wafer. Produk ultra-murni kami memastikan kontaminasi minimal dan kinerja tahan lama yang luar biasa, menjadikannya pilihan populer di banyak pasar Eropa dan Amerika. Sebagai penyedia pembawa wafer semikonduktor terkemuka di Tiongkok, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Susceptor epitaksi Silikon Monokristalin kami adalah produk grafit yang dilapisi dengan SiC dengan kemurnian tinggi, yang memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi. Pembawa berlapis silikon karbida CVD digunakan dalam proses yang membentuk lapisan epitaksial pada wafer semikonduktor. Ia memiliki konduktivitas termal yang tinggi dan sifat distribusi panas yang sangat baik, yang penting untuk proses manufaktur semikonduktor yang efisien dan tepat.
Salah satu fitur utama dari Susceptor Wafer Silikon Monokristalin kami adalah kepadatannya yang luar biasa. Baik substrat grafit maupun lapisan silikon karbida memiliki kepadatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik dalam lingkungan kerja bersuhu tinggi dan korosif. Susceptor berlapis silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memiliki kerataan permukaan yang sangat tinggi, yang penting untuk mempertahankan produksi wafer berkualitas tinggi.
Fitur penting lainnya dari produk kami adalah kemampuannya untuk mengurangi perbedaan koefisien muai panas antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida. Ini secara efektif meningkatkan kekuatan ikatan, mencegah retak dan delaminasi. Selain itu, substrat grafit dan lapisan silikon karbida memiliki konduktivitas termal yang tinggi dan sifat distribusi panas yang sangat baik, memastikan panas didistribusikan secara merata selama proses produksi.
Susceptor Wafer Silikon Monokristalin kami juga tahan terhadap oksidasi dan korosi suhu tinggi, menjadikannya produk yang andal dan tahan lama. Titik lelehnya yang tinggi memastikan bahwa ia dapat tahan terhadap lingkungan bersuhu tinggi yang diperlukan untuk produksi semikonduktor yang efisien.
Kesimpulannya, Semicorex Monocrystalline Silicon Wafer Susceptor adalah solusi ultra-murni, tahan lama, dan andal untuk proses penanganan epitaksi grafit dan wafer. Kepadatannya yang sangat baik, kerataan permukaan, dan konduktivitas termal membuatnya ideal untuk digunakan di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif. Kami bangga menyediakan produk berkualitas tinggi dengan harga bersaing dan berharap dapat bermitra dengan Anda untuk semua kebutuhan pembawa wafer semikonduktor Anda.

Parameter Susceptor Wafer Silikon Monokristalin

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	fase FCC β
Kepadatan	gram/cm³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Ukuran Butir	μm	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Felekural	MPa (RT 4 poin)	415
Modulus Young	Gpa (4pt bend, 1300℃)	430
Ekspansi Termal (CTE)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Susceptor Wafer Silikon Monokristalin

- Hindari mengelupas dan pastikan melapisi seluruh permukaan
Ketahanan oksidasi suhu tinggi: Stabil pada suhu tinggi hingga 1600°C
Kemurnian tinggi: dibuat dengan deposisi uap kimia CVD dalam kondisi klorinasi suhu tinggi.
Ketahanan korosi: kekerasan tinggi, permukaan padat dan partikel halus.
Ketahanan korosi: asam, alkali, garam dan reagen organik.
- Mencapai pola aliran gas laminar terbaik
- Menjamin kemerataan profil termal
- Mencegah penyebaran kontaminasi atau kotoran