Berita

Perawatan Permukaan Untuk Chuck Elektrostatis Kelas Atas

Chuck elektrostatis melakukan berbagai fungsi seperti pelepasan elektrostatis yang seragam, konduksi panas, serta adsorpsi dan fiksasi wafer di bidang manufaktur semikonduktor. Salah satu fungsi inti ESC adalah untuk mengadsorpsi wafer secara stabil dalam kondisi pengoperasian ekstrem seperti vakum ......

Apa itu Proses Doping?

Dalam pembuatan wafer dengan kemurnian sangat tinggi, wafer harus mencapai standar kemurnian lebih dari 99,999999999% untuk memastikan sifat dasar semikonduktor. Paradoksnya, untuk mencapai konstruksi fungsional sirkuit terpadu, pengotor spesifik harus dimasukkan secara lokal ke permukaan wafer mela......

Chuck Vakum Keramik

Chuck vakum keramik terbuat dari bahan keramik berpori dengan distribusi ukuran pori yang seragam dan interkoneksi internal. Setelah digiling, permukaannya halus dan halus dengan kerataan yang baik. Mereka banyak digunakan dalam pembuatan wafer semikonduktor seperti silikon, safir, dan galium arseni......

Indikator Apa yang Harus Diperhatikan Saat Memilih Wafer yang Cocok?

Pemilihan wafer mempunyai dampak yang signifikan terhadap pengembangan dan pembuatan perangkat semikonduktor. Pemilihan wafer harus dipandu oleh persyaratan skenario aplikasi tertentu, dan harus dievaluasi secara cermat menggunakan metrik penting berikut.

Komponen Silikon untuk Etsa Kering

Peralatan etsa kering tidak menggunakan bahan kimia basah untuk etsa. Ini terutama memasukkan gas etsa ke dalam ruangan melalui elektroda atas dengan lubang tembus kecil. Medan listrik yang dihasilkan oleh elektroda atas dan bawah mengionisasi gas etsa, yang kemudian bereaksi dengan bahan yang akan ......

Perbedaan antara substrat SiC tingkat produksi, penelitian, dan tiruan