Grafit Berpori dengan Lapisan TaC

Grafit Berpori Semicorex dengan Lapisan TaC menggabungkan sifat unik grafit berpori dengan kemampuan pelindung dan peningkatan lapisan TaC, menawarkan peningkatan signifikan dibandingkan bahan tradisional yang digunakan dalam cawan lebur bersuhu tinggi.

Grafit dan grafit berpori, meskipun banyak digunakan karena stabilitas termal dan konduktivitas listriknya, menghadirkan tantangan yang signifikan dalam lingkungan bersuhu tinggi. Grafit berpori, khususnya, lebih disukai karena permeabilitasnya yang tinggi, yang memungkinkan aliran gas yang lebih baik dan distribusi suhu yang seragam. Namun, porositasnya yang tinggi membuatnya lemah secara mekanis, sehingga menyebabkan kesulitan dalam pemesinan dan pembentukan material secara akurat. Selain itu, struktur berpori dapat mengakibatkan pelepasan partikel, yang mencemari kristal SiC. Grafit berpori juga rentan terhadap etsa kimia dan degradasi pada suhu tinggi dan lingkungan reaktif, sehingga mengganggu integritas wadah. Demikian pula, meskipun bubuk Tantalum Carbide (TaC) sering digunakan untuk melapisi atau mencampur dengan grafit untuk meningkatkan sifat-sifatnya, penerapan dan daya rekatnya yang seragam dapat menjadi tantangan, sehingga menyebabkan permukaan tidak rata dan potensi kontaminasi.

Produk Porous Graphite dengan TaC Coating secara efektif mengatasi tantangan di atas dengan mengintegrasikan sifat terbaik dari kedua material:

Peningkatan Kekuatan Mekanik: Lapisan TaC secara signifikan meningkatkan kekuatan mekanik grafit berpori, membuat Grafit Berpori dengan Lapisan TaC lebih mudah untuk dikerjakan dan dibentuk tanpa mengurangi integritas struktural material.

Mengurangi Pelepasan Partikel: Lapisan TaC membentuk lapisan pelindung di atas grafit berpori, mengurangi kemungkinan pelepasan partikel dan kontaminasi kristal SiC.

Peningkatan Ketahanan Kimia: TaC sangat tahan terhadap etsa dan degradasi kimia, memberikan penghalang tahan lama yang melindungi grafit berpori dari gas reaktif dan lingkungan bersuhu tinggi.

Stabilitas dan Konduktivitas Termal: Baik grafit maupun TaC menunjukkan stabilitas dan konduktivitas termal yang sangat baik. Kombinasi Grafit Berpori dengan Lapisan TaC memastikan wadah mempertahankan distribusi suhu yang seragam, yang penting untuk pertumbuhan kristal SiC yang bebas cacat.

Permeabilitas yang Dioptimalkan: Porositas yang melekat pada grafit memungkinkan aliran gas dan manajemen termal yang efisien, sementara lapisan TaC memastikan bahwa permeabilitas ini dipertahankan tanpa mengurangi integritas material.

Grafit Berpori Semicorex dengan Lapisan TaC mewakili kemajuan signifikan dalam bahan yang digunakan untuk pertumbuhan kristal SiC. Dengan mengatasi tantangan mekanis, kimia, dan termal yang terkait dengan grafit tradisional dan bubuk TaC, Grafit Berpori dengan Lapisan TaC memastikan kristal SiC berkualitas lebih tinggi dengan cacat lebih sedikit. Kombinasi permeabilitas grafit berpori dan sifat pelindung TaC menawarkan solusi kuat untuk aplikasi suhu tinggi, menjadikannya bahan penting dalam produksi semikonduktor dan perangkat elektronik canggih.