Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen keramik SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari suku cadang habis pakai untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti perahu wafer Silicon Carbide, dayung kantilever, tabung, dll untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Dayung Kantilever →
Cantilever Paddle adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, khususnya dalam tungku difusi atau LPCVD selama proses seperti difusi dan RTP.
Tabung Proses →
Process Tube adalah komponen penting, dirancang khusus dalam berbagai aplikasi pemrosesan semikonduktor seperti RTP, difusi.
Perahu Wafer →
Wafer Boat digunakan dalam pemrosesan semikonduktor, telah dirancang dengan cermat untuk memastikan wafer halus tetap aman selama tahap kritis produksi.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC dengan peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated sangat stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Semicorex juga memiliki produk keramik Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirkonia (ZrO2), Keramik Komposit, dll.
Selongsong Si3N4 dari Semicorex adalah material serbaguna dan berkinerja tinggi yang menawarkan kombinasi unik antara kepadatan rendah, kekerasan unggul, ketahanan aus luar biasa, serta stabilitas termal dan kimia luar biasa.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanFungsi utama Chuck Vakum Keramik Berpori Semicorex terletak pada kemampuannya untuk memberikan permeabilitas udara dan air yang seragam, sebuah fitur yang memastikan pemerataan tekanan dan daya rekat wafer silikon yang kuat. Karakteristik ini sangat penting selama proses penggilingan, karena mencegah wafer tergelincir, sehingga menjaga integritas pengoperasian.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Alumina Tube adalah komponen penting dalam berbagai aplikasi industri, terkenal karena kemampuannya menahan lingkungan yang keras dan suhu tinggi.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCakram Keramik PBN oleh Semicorex disintesis melalui proses deposisi uap kimia (CVD) yang rumit, memanfaatkan boron triklorida (BCl3) dan amonia (NH3) pada suhu tinggi dan tekanan rendah. Metode sintesis ini menghasilkan material dengan kemurnian dan integritas struktural yang luar biasa, sehingga sangat diperlukan untuk berbagai aplikasi dalam industri semikonduktor.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanWadah Semicorex ZrO2 dibuat dari keramik zirkonia yang distabilkan, menghadirkan komposisi standar 94,7% zirkonium dioksida (ZrO2) dan 5,2% yttrium oksida (Y2O3) berdasarkan persentase berat, atau sebagai alternatif, 97% ZrO2 dan 3% Y2O3 berdasarkan persentase mol. Formulasi yang tepat ini memberikan ZrO2 Crucible serangkaian karakteristik menguntungkan yang secara khusus memenuhi tuntutan proses industri berkinerja tinggi.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPisau Pemotong Semicorex Al2O3, telah dirancang dengan cermat untuk memenuhi tuntutan proses pemotongan yang ketat di berbagai spektrum industri, termasuk namun tidak terbatas pada film dan foil, aplikasi medis, dan perakitan komponen elektronik yang rumit.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan