Pelat Etsa ICP Silikon Karbida

Pelat Etsa ICP Silikon Karbidakompeten dalam memberikan dukungan yang stabil dan posisi wafer yang tepat dalam operasi etsa, secara efisien mencegah pengurangan presisi etsa yang disebabkan oleh getaran atau perpindahan.

Pelat Etsa ICP Silikon Karbida memiliki kemampuan manajemen termal. Konduktivitas termal yang unggulkeramik SICmemberikan Pelat Etsa ICP Silikon Karbida kemampuan untuk menghilangkan panas dengan cepat, yang membantu mencegah panas berlebih pada benda kerja dan memastikan keseragaman suhu pengetsaan, sehingga meningkatkan kualitas pengetsaan. Keramik SiC memiliki koefisien muai panas yang rendah, yang memungkinkan Pelat Etsa ICP Silikon Karbida menjaga stabilitas dimensi yang baik dan mengurangi perpindahan atau deformasi benda kerja yang disebabkan oleh muai panas.

Mengandalkan sifat kekerasan dan kekuatannya yang sangat baik, Pelat Etsa ICP Silikon Karbida menunjukkan kemampuan untuk mentolerir tekanan mekanis dan dampak plasma yang ditemui selama proses etsa dengan deformasi atau kerusakan minimal. Kemampuan ini secara efektif meningkatkan hasil dan efisiensi produksi perangkat semikonduktor.

Lingkungan pengoperasian ICP memerlukan kebersihan tingkat semikonduktor. Pelat Etsa ICP Silikon Karbida Semicorex dapat sepenuhnya memenuhi persyaratan ini, memberikan ketahanan luar biasa terhadap gas kimia (seperti klorin dan fluor) dan plasma lingkungan etsa ICP. Fitur penting ini menjaga lingkungan proses tetap bersih dengan mengurangi jumlah kontaminan yang dilepaskan selama operasi etsa.

Semicorex mengutamakan kenyamanan pengguna, menawarkan desain khusus Pelat Etsa ICP Silikon Karbida yang terintegrasi secara mulus dengan sistem etsa ICP yang ada dan kompatibel dengan berbagai konfigurasi. Hal ini memungkinkan transisi yang lancar, menjadikannya solusi peningkatan yang ideal bagi produsen peralatan.