Semicorex adalah mitra Anda untuk meningkatkan pemrosesan semikonduktor. Lapisan silikon karbida kami padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan di seluruh siklus manufaktur semikonduktor, termasuk pemrosesan wafer & wafer semikonduktor serta fabrikasi semikonduktor.
Komponen keramik SiC dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk proses di semikonduktor. Penawaran kami berkisar dari suku cadang habis pakai untuk peralatan pemrosesan wafer, seperti perahu wafer Silicon Carbide, dayung kantilever, tabung, dll untuk Epitaxy atau MOCVD.
Keuntungan untuk proses semikonduktor
Fase pengendapan film tipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau proses penanganan wafer seperti etsa atau implan ion harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan kimiawi yang keras. Semicorex memasok konstruksi silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi memberikan ketahanan panas yang unggul dan ketahanan kimia yang tahan lama, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten.
Tutup Ruang →
Tutup Ruang yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemrosesan penanganan wafer harus tahan terhadap suhu tinggi dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Dayung Kantilever →
Cantilever Paddle adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, khususnya dalam tungku difusi atau LPCVD selama proses seperti difusi dan RTP.
Tabung Proses →
Process Tube adalah komponen penting, dirancang khusus dalam berbagai aplikasi pemrosesan semikonduktor seperti RTP, difusi.
Perahu Wafer →
Wafer Boat digunakan dalam pemrosesan semikonduktor, telah dirancang dengan cermat untuk memastikan wafer halus tetap aman selama tahap kritis produksi.
Cincin Masuk →
Cincin saluran masuk gas berlapis SiC dengan peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Cincin Fokus →
Semicorex memasok cincin fokus Silicon Carbide Coated sangat stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum keramik ultra-datar Semicorex dilapisi SiC dengan kemurnian tinggi yang digunakan dalam proses penanganan wafer.
Semicorex juga memiliki produk keramik Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirkonia (ZrO2), Keramik Komposit, dll.
Sifat material canggih dari Tabung Tungku Difusi Semicorex SiC, termasuk kekuatan lentur tinggi, ketahanan oksidasi dan korosi yang luar biasa, ketahanan aus yang tinggi, koefisien gesekan rendah, sifat mekanik suhu tinggi yang unggul, dan kemurnian sangat tinggi, menjadikannya sangat diperlukan dalam industri semikonduktor , khususnya untuk aplikasi tungku difusi. Kami di Semicorex berdedikasi untuk memproduksi dan memasok Tabung Tungku Difusi SiC berkinerja tinggi yang memadukan kualitas dengan efisiensi biaya.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanDengan sifat material berkualitas tinggi, Semicorex SiC Diffusion Boat mewakili fungsionalitas optimal di seluruh spektrum parameter operasional yang luas: kekerasan, ketahanan, dan ketahanan termal dan kimia, dll. Pilihan material ini sangat penting dalam mengurangi risiko kontaminasi, melindungi wafer, dan bertahan lama. kondisi yang menuntut hadir dalam proses fabrikasi semikonduktor. Kami di Semicorex berdedikasi untuk memproduksi dan memasok Perahu Difusi SiC berkinerja tinggi yang memadukan kualitas dengan efisiensi biaya.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPelat Etsa ICP Semicorex adalah komponen canggih dan berkinerja tinggi yang dirancang khusus untuk aplikasi semikonduktor, dibuat dari bahan Silicon Carbide (SiC). Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China*.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanReflektor Semicorex SiC adalah elemen penting dalam berbagai proses manufaktur semikonduktor. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China*.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPelat Perpindahan Panas Keramik Semicorex SiC, berdasarkan SiC sebagai bahan utama, mengalami sintering suhu tinggi pada 2250°C, menghasilkan badan keramik padat dengan porositas nol dan vitrifikasi tinggi dengan kandungan SiC ≥99,3%. Dengan kekuatan lentur ≥410MPa dan konduktivitas termal 140W/m.k, keramik ini merupakan satu-satunya bahan yang mampu menahan korosi dari asam kuat seperti asam fluorida (HF) dan asam sulfat (H2SO4) di industri semikonduktor. Kami di Semicorex berdedikasi untuk memproduksi dan memasok Pelat Perpindahan Panas Keramik SiC berkinerja tinggi yang memadukan kualitas dengan efisiensi biaya. **
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanBagian Struktural Keramik Silikon Karbida Semicorex, diperoleh dari butiran silikon karbida yang diikat bersama melalui sintering, banyak digunakan di sektor otomotif, mekanik, kimia, semikonduktor, teknologi luar angkasa, mikroelektronik, dan energi, memenuhi peran penting dalam beragam aplikasi di industri ini. Karena sifatnya yang luar biasa, Bagian Struktural Keramik Silikon Karbida telah menjadi material yang ideal untuk kondisi keras yang ditandai dengan suhu tinggi, tekanan tinggi, korosi, dan abrasi, memberikan kinerja yang andal dan umur panjang dalam lingkungan operasional yang menantang.**
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan