Pipa sic

Pipa semikorex sic adalah bagian keramik untuk sistem tungku semikonduktor.  Mereka memiliki sifat unik yang mencakup transmisi termal yang tinggi dan resistensi suhu tinggi dan kimia yang diperlukan dalam aplikasi semikonduktor di mana ada kondisi lingkungan suhu tinggi dan kimia yang diharapkan dan di mana sifat diinginkan - daya tahan, efisiensi energi, dan kondisi proses stabil yang unik - yang memungkinkan penggunaan secara ekonomis dalam lingkungan manufaktur semikoning lanjut.

Pipa SIC Semicorex menggunakan gandum halus dengan kemurnian tinggisilikon karbidayang diproduksi untuk memiliki stabilitas mekanis suhu tinggi yang luar biasa sebagai akibat dari metode dan teknik sinterisasi dan rekristalisasi canggih. Pemberdayaan SIC berkinerja tinggi menghasilkan kekuatan mekanik yang luar biasa dan retensi stabilitas termal pada suhu operasi tinggi. SIC memiliki kekerasan luar biasa yang mengurangi keausan, atau deformasi potensial.  Selain itu, atribut yang terkait dengan sifat SIC adalah efisien koefisien rendah dari ekspansi termal bermanfaat karena mereka membatasi tegangan termal karena akan ada persyaratan untuk bersepeda bahan ini antara panas beroperasi tinggi dan rendah yang ekstrem. Dalam semua pertimbangan ini, mereka memiliki utilitas khusus untuk aplikasi yang ideal dalam tungku difusi, tungku oksidasi dan sistem LPCVD/PECVD untuk mempertahankan kondisi proses yang stabil maksimal untuk menghilangkan, atau membatasi, cacat yang juga merupakan metrik yang terkait dengan wafer atau material dengan kondisi proses yang sangat stabil, bahkan.

Kegunaan penting lainnya dari pipa SIC adalah profil konduksi termal yang tinggi dalam kondisi tertentu dan desain tungku yang berlaku untuk menghasilkan tingkat konduktif yang tinggi dan, yang terpenting, distribusi suhu yang rata dan stabil di seluruh proses.  Perilaku yang dapat diandalkan ini memungkinkan wafer untuk terpapar distribusi suhu semi-setara dalam interval waktu yang wajar dan tambahan untuk membatasi gradien termal untuk mengurangi wafer yang terdistorsi dan/atau cacat yang ditentukan sambil meningkatkan kondisi pengendapan film yang lebih merata.

Stabilitas dan resistensi kimia adalah faktor kinerja penting lainnya.  Dalam proses semikonduktor, tabung tungku mengalami pengaruh gas yang sangat reaktif termasuk oksigen, hidrogen, amonia, dan semua halogen, yang dapat menurunkan bahan konvensional dengan cara yang cepat. Struktur mikro yang padat dan tidak berpori, bersama dengan sifat kimia yang lembam SiC, melindunginya dari oksidasi dan korosi sambil memberikan kinerja operasional dan mekanik pada lingkungan proses yang ekstrem.  Daya tahan tungku SIC membantu mereka mempertahankan integritas akurasi bentuk dan dimensi dalam jangka waktu yang lama, yang penting untuk kontrol proses dan stabilitas.

Pipa SiC dapat diproduksi dalam berbagai ukuran dan ketebalan dinding, berbentuk geometris agar sesuai dengan desain tungku dan kebutuhan proses.  Karakteristik permesinan presisi yang tepat juga dipertahankan selama desain dan produksi pipa SIC sehingga toleransi operasional dapat ketat, dengan permukaan internal yang halus dan konsentrisitas yang sangat baik untuk mempertahankan keseimbangan aliran gas laminar dan profil termal yang seragam. Pemolesan permukaan dan pelapis dapat disediakan sebagai opsi pengobatan yang akan meningkatkan kinerja dengan mengurangi pembuatan partikel dan meningkatkan resistensi korosi.

Pipa SIC memiliki keunggulan operasional dan biaya yang jelas dibandingkan dengan bahan alternatif seperti kuarsa atau pipa alumina.  Biaya awal untuk komponen SIC mungkin sedikit lebih tinggi, tetapi umur produk, pengurangan kerusakan, dan persyaratan pemeliharaan yang lebih rendah menghasilkan total biaya kepemilikan yang lebih rendah daripada bahan alternatif dan pipa.

Untuk menyimpulkan, semikorexSicPipa adalah pilihan terbaik untuk aplikasi tungku semikonduktor, karena mereka memberikan kinerja termal terbaik, kekuatan mekanik, ketahanan kimia, dan keandalan untuk lingkungan produksi yang menuntut. Bahan ini meningkatkan stabilitas proses dan membantu penghematan dan efisiensi biaya down-the-road (mis. Konsumsi energi yang lebih rendah). Pipa SiC adalah bahan mendasar untuk fabrikasi semikonduktor modern.