Perahu tungku ruang horizontal

Tungku ruang horizontal semikorex perahu sic adalah bagian yang sangat direkayasa yang memegang dan membawa wafer atau substrat sementara mereka mengalami pemrosesan termal suhu tinggi di tungku ruang horizontal. Kapal wafer terbuat dari ikatan SIC dengan kemurnian tinggi silikon karbida (sic), yang memberikan kombinasi unik dari kekuatan, stabilitas termal, dan ketahanan kimia tinggi yang diminta dalam proses keramik semikonduktor, fotovoltaik, dan canggih. Kapal wafer juga bertindak sebagai struktur yang kaku untuk menahan wafer di posisi, stabilitas dimensi dan ketepatan wafer tidak akan hilang oleh paparan yang diperpanjang pada suhu proses yang ekstrem.

Sifat superior silikon karbida memberikan perahu tungku ruang horizontal SIC perahu keuntungan kinerja yang unggul dibandingkan dengan bahan khas untuk kapal wafer seperti kuarsa atau alumina. Mereka dapat lebih tahan terhadap siklus pemanasan dan pendinginan durasi pendek yang jarang terjadi karena titik leleh yang tinggi, ketahanan guncangan termal, dan kekuatan mekanik, terlepas dari kecepatan pemanasan dan pendinginan atau ekstrem dari siklus termal. Karena tungku horizontal sepenuhnya bergantung pada konsistensi posisi wafer dan paparan kondisi proses, penyelarasan wafer yang tepat memberikan hasil proses dan pengulangan yang konsisten. Koefisien rendah ekspansi termal berarti kapal tidak akan mendistorsi hidupnya dan memberikan bentuk dan jarak yang dipertahankan dari wafer.

Struktur SIC yang direkristalisasi dengan berbutir halus memberikan resistensi yang luar biasa terhadap oksidasi, korosi, dan kontaminasi dengan gas proses dan produk sampingan. Hal ini membuat perahu sangat menguntungkan untuk proses di atmosfer agresif seperti difusi, oksidasi, LPCVD, dan anil. Kelembaman kimia yang tinggi dari SIC menghindari reaksi dengan permukaan wafer, sehingga menjaga kemurnian produk dan meminimalkan generasi partikel di tungku. Kapal SIC dapat membantu produsen yang perlu memenuhi tuntutan kebersihan yang ketat, menyediakan lingkungan pemrosesan yang lebih bersih dan meningkatkan kualitas wafer.

Kapal-kapal ini dapat diproduksi dengan berbagai geometri kompleks dan dimensi bagian-khusus dengan teknik pemesinan presisi dan pembentukan. Desain umumnya menggunakan beberapa slot/alur paralel untuk menahan wafer dengan aman dalam orientasi horizontal dan secara seragam memaparkan seluruh permukaan wafer ke kondisi termal. Jarak slot-to-slot dan sudut juga dapat dioptimalkan agar sesuai dengan wafer diameter lainnya, seperti 150 mm, 200 mm, atau 300 mm, dan aliran udara langsung selama efek pemrosesan sambil tetap mencapai keseragaman suhu untuk pemrosesan.

Kapal SIC ruang horizontal tidak hanya dapat dirancang dalam keberangkatan standar, tetapi mereka dapat dirancang untuk bekerja dengan wafer loader otomatis, menghasilkan integrasi yang mulus ke dalam jalur produksi throughput tinggi modern. Desain yang kuat juga akan membuat kapal lebih kecil kemungkinannya untuk chip atau istirahat selama penanganan dan mengurangi waktu henti dan biaya untuk penggantian.

Konduktivitas termalsilikon karbidamewakili keuntungan utama lain yang memfasilitasi perpindahan panas yang efisien antara wafer dan lingkungan tungku. Keuntungannya adalah produsen dapat mencapai kondisi pemrosesan yang lebih seragam dan mempersingkat waktu siklus, yang dapat meningkatkan efisiensi produksi. Kapal SIC memberikan hasil yang konsisten dan berulang apakah mereka digunakan untuk fabrikasi wafer semikonduktor, pembuatan sel surya, atau pemrosesan bahan canggih lainnya pada suhu tinggi.

Singkatnya, perahu SIC ruang horizontal adalah komponen utama bagi produsen yang ingin memproduksi wafer dengan kinerja tinggi, jangka panjang dan tahan wafer yang tahan kontaminasi. Ini memiliki kekuatan mekanik, stabilitas termal, dan inertness kimia yang tidak ada bandingannya dalam aplikasi tungku horizontal. Dengan memilih kapal silikon karbida, operator dapat memanfaatkan kontrol proses yang lebih baik, hasil yang lebih tinggi, dan meminimalkan gangguan operasional karena pemeliharaan. Secara keseluruhan ini menyediakan produksi yang lebih efisien dan hemat biaya.